技术编号:18194982
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及太阳能电池技术领域,特别是涉及一种板式ALD喷淋板的检测装置。背景技术PERC太阳能电池(Passivated Emitterand Rear Cell)是在传统晶体硅太阳能电池基础上改进而来的一种新的晶体硅太阳能电池。其需要在传统的晶体硅太阳能电池生产流程上增加3个步骤:背面镀Al203、背面镀SiN及背面激光开槽,其余工艺步骤均与常规太阳能电池产线相同。由于产线升级简单,又能明显得提升太阳能电池的光电转换效率,因此PERC太阳能电池目前已经成为传统电池升级的主流方向。背面镀Al...
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