板式ALD喷淋板的检测装置的制作方法

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，特别是涉及一种板式ALD喷淋板的检测装置。

背景技术：

PERC太阳能电池(Passivated Emitterand Rear Cell)是在传统晶体硅太阳能电池基础上改进而来的一种新的晶体硅太阳能电池。其需要在传统的晶体硅太阳能电池生产流程上增加3个步骤：背面镀Al203、背面镀SiN及背面激光开槽，其余工艺步骤均与常规太阳能电池产线相同。由于产线升级简单，又能明显得提升太阳能电池的光电转换效率，因此PERC太阳能电池目前已经成为传统电池升级的主流方向。

背面镀Al203可以起到很好的钝化作用，目前行业沉积氧化铝且量产可行的方法有等离子体增强化学气相沉积(PECVD)与原子层沉积(ALD)。PECVD沉积可以支持氧化铝沉积和氮化硅覆膜二合为一，及在沉积背面钝化层后实现正面发射极钝化膜的沉积的三合为一。ALD沉积通过载具在不同反应区域的移动，实现单侧沉积，同时硅片在载具中的固定方式亦可以有效降低破损率。

行业普遍认为氧化铝膜应相对较薄，因为氢会被氧化铝所阻碍，所以氧化膜越薄，之后烧结过程中的钝化效果就会越好，一般6-8纳米厚度的氧化铝膜就足以满足要求。ALD可以处理非常薄的薄膜，使用PECVD则需要相对更厚的薄膜，且TMA的使用量ALD约为PECVD的三至二分之一，整体性能ALD沉积膜较PECVD略好，绝对效率提高了0.06％。预计未来市场份额会大幅上升。

板式ALD进行氧化铝沉积，结合了在线嵌入式PECVD与空间区隔式的优点，硅片在工艺腔体进行沉积，腔体内Cover plate和Face plate在工艺过程中会有Al203粉尘沉积，过多的沉积会影响工艺的品质，且粉尘附着比较结实，机械方法不好清理，需要在保养时更换面板并送清洗。

目前，腔体里工艺关键部件Shower faceplate需拆下做清洗，具体地，将附着大量氧化铝粉尘的航空铝材质的喷淋面板浸没在特制比例酸溶液中腐蚀清洗，然后使用高压水枪冲洗，再将其放入超声波清洗槽清洗震荡，有效地去除背板喷淋处Al203附着，最后烘干数小时后密封包装待安装使用。

然而，Shower faceplate的喷淋孔处附着的Al203无法保证清洗彻底，安装时需要人工检查，由于孔径较小，约2mm，人工检查工作量大，目视易漏检而造成沉积氧化铝不均匀，带来品质风险。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种板式ALD喷淋板的检测装置，以解决现有技术中存在的喷淋板的喷淋孔的清洗效果检测不方便的技术问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供的一种板式ALD喷淋板的检测装置，包括第一承载台、面板夹具、光源体、相机及处理计算机；

所述面板夹具设置在所述第一承载台的顶部，所述面板夹具用于固定喷淋板；

所述光源体设置在所述第一承载台的顶部，所述光源体位于所述面板夹具所处范围内，所述光源体用于照射固定在所述面板夹具上的喷淋板；

所述相机活动设置在所述第一承载台上方，所述相机用于拍摄固定在所述面板夹具上的被所述光源体照射的喷淋板；

所述处理计算机与所述相机电性连接，所述处理计算机用于展示所述相机拍摄的喷淋板上的喷淋孔的堵塞情况。

进一步地，所述面板夹具包括纵向夹板及横向夹板；

所述纵向夹板的数量为2个；

所述横向夹板的数量为1个；

2个所述纵向夹板分别垂直设置在所述横向夹板的两端。

进一步地，所述纵向夹板的顶部设有挡条。

进一步地，所述挡条活动连接在所述纵向夹板的顶部，所述挡条能够在所述纵向夹板的顶部平动。

进一步地，所述挡条的材质为柔性材质。

进一步地，还包括第二承载台；

所述第二承载台设置在所述第一承载台的上方；

所述相机活动设置在所述第二承载台上。

进一步地，所述第二承载台上设置有镂空导轨；

所述相机活动设置在所述镂空导轨内。

进一步地，所述第二承载台的底部设有滑轨；

所述相机活动设置在所述滑轨上。

进一步地，所述第二承载台通过支撑柱设置在所述第一承载台的上方。

进一步地，还包括控制柜；

所述处理计算机设置在所述控制柜的内部。

本实用新型提供的板式ALD喷淋板的检测装置，将清洗后的喷淋板通过面板夹具固定在第一承载台的上方，光源体工作，喷淋板上的喷淋孔有光通过，喷淋孔堵塞时呈现微光，与正常的喷淋孔的透光情况相比有明暗之分，移动相机，对喷淋板上的微小的喷淋孔进行扫描，处理计算机上成像展示喷淋孔的明暗情况，从而得知喷淋孔的堵塞情况，达到检测喷淋孔通堵的目的，能够准确地检测喷淋板的喷淋孔的通堵情况，有效地监控喷淋板的清洗效果，避免了人工检测带来的误判，保证了沉积氧化铝的稳定性，且本装置成本低，操作简单，解决了喷淋板的喷淋孔的清洗效果检测不方便的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例一提供的一种板式ALD喷淋板的检测装置的整体结构示意图；

图2为本实用新型实施例一提供的一种板式ALD喷淋板的检测装置的部分结构示意图；

图3为本实用新型实施例一提供的一种板式ALD喷淋板的检测装置的部分结构主视示意图；

图4为本实用新型实施例一提供的一种板式ALD喷淋板的检测装置的部分结构俯视示意图。

附图标记：

1-喷淋板； 4-相机； 5-第二承载台；

6-面板夹具； 7-光源体； 8-第一承载台；

9-支撑柱； 10-控制柜； 11-处理计算机；

12-镂空导轨。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例一：

在本实施例的可选方案中，如图1至图4所示，本实施例提供的一种板式ALD喷淋板的检测装置，包括第一承载台8、面板夹具6、光源体7、相机4及处理计算机11；

面板夹具6设置在第一承载台8的顶部，面板夹具6用于固定喷淋板1；

光源体7设置在第一承载台8的顶部，光源体7位于面板夹具6所处范围内，光源体7用于照射固定在面板夹具6上的喷淋板1；

相机4活动设置在第一承载台8上方，相机4用于拍摄固定在面板夹具6上的被光源体7照射的喷淋板1；

处理计算机11与相机4电性连接，处理计算机11用于展示相机4拍摄的喷淋板1上的喷淋孔的堵塞情况。

在本实施例中，将清洗后的喷淋板1通过面板夹具6固定在第一承载台8的上方，光源体7工作，喷淋板1上的喷淋孔有光通过，喷淋孔堵塞时呈现微光，移动相机4，对喷淋板1上的微小的喷淋孔进行扫描，处理计算机11上成像展示喷淋孔的明暗情况，从而得知喷淋孔的堵塞情况，达到检测喷淋孔通堵的目的，有效地保证了沉积氧化铝的稳定性，避免了人工目视检测的主观性，检测后，剔除喷淋孔异常的喷淋板1，保证产线稳定地生产。

需要说明的是，相机4为高速相机，具有定点聚焦、移动快拍功能；与相机4连接的处理计算机11，结合图像软件进行处理成像后，可以精准地展现喷淋板1上的喷淋孔的情况，工作人员可以清晰地观察到喷淋孔的堵塞情况。

在本实施例中，优选地，第二承载台5的形状为矩形，厚度约为2cm。

在本实施例中，光源体7设置在第二承载台5的中心位置。

在本实施例中，面板夹具6环绕光源体7；面板夹具6的长度约等于喷淋板1的长度，面板夹具6的高度高于光源体7；优选地，面板夹具6的高度为光源体7的高度的两倍。

在本实施例的可选方案中，面板夹具6包括纵向夹板及横向夹板；纵向夹板的数量为2个；横向夹板的数量为1个；2个纵向夹板分别垂直设置在横向夹板的两端。

在本实施例中，一个纵向夹板的一端连接在横向夹板的一端，另一个纵向夹板的一端连接在横向夹板的另一端，两个纵向夹板相互平行，即一个纵向夹板、横向夹板与另一个纵向夹板依次连接，构成“U”形夹具，对喷淋板1固定，工作稳定。

在本实施例的可选方案中，纵向夹板的顶部设有挡条。

在本实施例中，挡条的位置可调，从而能够对喷淋板1的位置进行调整，达到微调的目的，提高了装置的灵活性。

在本实施例的可选方案中，挡条活动连接在纵向夹板的顶部，挡条能够在纵向夹板的顶部平动。

在本实施例的可选方案中，还包括第二承载台5；第二承载台5设置在第一承载台8的上方；相机4活动设置在第二承载台5上。

在本实施例中，第二承载台5与第一承载台8的形状相同，也为矩形；优选地，第二承载台5的大小、厚度也均与第一承载台8的相同；二者上下对应设置。

在本实施例中，第二承载台5位于第一承载台8上方，相距约20-25cm。

优选地，第一承载台8及第二承载台5的四周设有挡板，挡板不透明，使得喷淋板1在密闭不透明的环境内被检测，保证扫描拍摄的结果清晰、明显。

在本实施例的可选方案中，第二承载台5上设置有镂空导轨12；相机4活动设置在镂空导轨12内。

在本实施例中，相机4的机身位于第二承载台5上方，相机4的机头贯穿镂空导轨12而位于第二承载台5下方。

在本实施例中，相机4上设有与镂空导轨12配合的滑轮；滑轮由独立的电机驱动，实现相机4的移动，或者，手动驱动相机4移动，结构简单，便于操作。

优选地，镂空导轨12的形状为波浪形，与喷淋板1上的喷淋孔的位置呼应。

在本实施例中，将喷淋板1固定在面板夹具6上之后，通过调整挡条而微调喷淋板1的位置，使喷淋板1上的喷淋孔对准镂空导轨12。

在本实施例中，相机4沿镂空导轨12移动，能够全面地扫描喷淋板1的喷淋孔的位置，且相机4的工作更加稳定。

可以理解，镂空导轨12亦可为其他形状，但需要保证相机4能够扫描整个喷淋板1，扫描范围覆盖所有喷淋孔。

在本实施例的可选方案中，第二承载台5通过支撑柱9设置在第一承载台8的上方。

在本实施例中，支撑柱9的数量为4个，分别竖向设置在第二承载台5的四个角处。

在本实施例的可选方案中，还包括控制柜10；处理计算机11设置在控制柜10的内部。

在本实施例中，控制柜10可设置在支撑柱9上，便于进行操作及观察。

本装置成本低，操作简单，能够准确地检测喷淋板1的喷淋孔的通堵情况，减少了人工检测带来的误判，能够有效地监控喷淋板1的清洗效果，减少了喷淋板1异常宕机时间。

实施例二：

在本实施例的可选方案中，区别于实施例一，挡条的材质为柔性材质，同样能够达到对喷淋板1的固定位置进行微调的目的。

在本实施例中，挡条的材质优选为橡胶。

实施例三：

在本实施例的可选方案中，区别于实施例一或实施例二，第二承载台5的底部设有滑轨；相机4活动设置在滑轨上。

在本实施例中，相机4的机身上设有固定架，固定架上设有滑轮，滑轮与滑轨配合，滑轮由独立的电机驱动，实现相机4的移动，或者，手动驱动相机4移动，结构简单，操作方便。

可以理解，此时第二承载台5与第一承载台8之间的距离适当增加。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。