1.一种板式ALD喷淋板的检测装置，其特征在于，包括第一承载台(8)、面板夹具(6)、光源体(7)、相机(4)及处理计算机(11)；
所述面板夹具(6)设置在所述第一承载台(8)的顶部，所述面板夹具(6)用于固定喷淋板(1)；
所述光源体(7)设置在所述第一承载台(8)的顶部，所述光源体(7)位于所述面板夹具(6)所处范围内，所述光源体(7)用于照射固定在所述面板夹具(6)上的喷淋板(1)；
所述相机(4)活动设置在所述第一承载台(8)上方，所述相机(4)用于拍摄固定在所述面板夹具(6)上的被所述光源体(7)照射的喷淋板(1)；
所述处理计算机(11)与所述相机(4)电性连接，所述处理计算机(11)用于展示所述相机(4)拍摄的喷淋板(1)上的喷淋孔的堵塞情况。
2.根据权利要求1所述的板式ALD喷淋板的检测装置，其特征在于，所述面板夹具(6)包括纵向夹板及横向夹板；
所述纵向夹板的数量为2个；
所述横向夹板的数量为1个；
2个所述纵向夹板分别垂直设置在所述横向夹板的两端。
3.根据权利要求2所述的板式ALD喷淋板的检测装置，其特征在于，所述纵向夹板的顶部设有挡条。
4.根据权利要求3所述的板式ALD喷淋板的检测装置，其特征在于，所述挡条活动连接在所述纵向夹板的顶部，所述挡条能够在所述纵向夹板的顶部平动。
5.根据权利要求3所述的板式ALD喷淋板的检测装置，其特征在于，所述挡条的材质为柔性材质。
6.根据权利要求1所述的板式ALD喷淋板的检测装置，其特征在于，还包括第二承载台(5)；
所述第二承载台(5)设置在所述第一承载台(8)的上方；
所述相机(4)活动设置在所述第二承载台(5)上。
7.根据权利要求6所述的板式ALD喷淋板的检测装置，其特征在于，所述第二承载台(5)上设置有镂空导轨(12)；
所述相机(4)活动设置在所述镂空导轨(12)内。
8.根据权利要求6所述的板式ALD喷淋板的检测装置，其特征在于，所述第二承载台(5)的底部设有滑轨；
所述相机(4)活动设置在所述滑轨上。
9.根据权利要求6所述的板式ALD喷淋板的检测装置，其特征在于，所述第二承载台(5)通过支撑柱(9)设置在所述第一承载台(8)的上方。
10.根据权利要求1所述的板式ALD喷淋板的检测装置，其特征在于，还包括控制柜(10)；
所述处理计算机(11)设置在所述控制柜(10)的内部。