技术编号：18197383
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及掩膜版制造技术领域，具体涉及一种掩膜版条纹检查辅助夹具。背景技术随着越来越多的国内显示面板厂商量产TFT LCD五代线，光掩膜的需求量在近几年将呈现跳跃式地上升。光掩膜版是制作微细光掩膜图形的理想感光性空白板，通过光刻制版工艺可以获得所需光掩膜版。目前，掩膜版条纹缺陷一直是TFT掩膜版缺陷控制的难点，行业目前的检验方法是用特定波长手电筒，照射产品膜面和非膜面，从多个角度依靠人肉眼来检验条纹。然而，检验条纹时，手电筒会距离掩膜版非常近，大约在10mm，随着掩膜版尺寸越来越大，尤其是G...
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