一种掩膜版条纹检查辅助夹具的制作方法

本实用新型涉及掩膜版制造技术领域，具体涉及一种掩膜版条纹检查辅助夹具。

背景技术：

随着越来越多的国内显示面板厂商量产TFT LCD五代线，光掩膜的需求量在近几年将呈现跳跃式地上升。光掩膜版是制作微细光掩膜图形的理想感光性空白板，通过光刻制版工艺可以获得所需光掩膜版。目前，掩膜版条纹缺陷一直是TFT掩膜版缺陷控制的难点，行业目前的检验方法是用特定波长手电筒，照射产品膜面和非膜面，从多个角度依靠人肉眼来检验条纹。

然而，检验条纹时，手电筒会距离掩膜版非常近，大约在10mm，随着掩膜版尺寸越来越大，尤其是G10代掩膜版已经达到1620x1780超大尺寸，靠员工手持手电筒检验条纹的方法已经不太适用，因为员工操作过程中刮伤产品的风险非常大而且不可控制，由于掩膜版价格非常昂贵，一旦发生刮伤情况会给公司带来巨大的财产损失，所以非常迫切的需要一种新的条纹检验方法来代替手持式检验。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题是：现有的手工持手电筒检验条纹的过程中刮伤产品的风险非常大而且不可控制问题，本实用新型提供了解决上述问题的一种掩膜版条纹检查辅助夹具，减少肉眼看条纹时人员对产品造成的磕碰风险，利用这种辅助半自动检验设备，来辅助人工肉眼检查条纹，降低人员操作不当造成的磕碰风险。

本实用新型通过下述技术方案实现：

一种掩膜版条纹检查辅助夹具，包括“U型”的底座，所述底座两侧均通过第一轴承连接有支架体，两个所述支架体之间用于固定掩膜版，两个所述支架体上设置有用于连接两个所述支架体的夹具，所述夹具为一个横杆，且所述横杆两侧设置有卡块，所述夹具的大小吻合卡扣在两个所述支架体上且沿所述支架体轴向方向移动；所述横杆底部设置有滑槽，所述滑槽上设置有滑块，所述滑块一端凸出所述滑槽，所述滑块底部两侧通过弹性装置连接有连接块，两个所述连接块之间设置有第二轴承，所述第二轴承上设置有光源；贯穿所述滑块的凸出部分向下设置轴孔，所述轴孔内用于放置顶丝，且所述顶丝通过旋入或者旋出所述轴孔来调节所述光源与掩膜版的距离。

本实用新型上述方案的原理是：由于检验条纹时，手电筒会距离掩膜版非常近，大约在10mm，随着掩膜版尺寸越来越大，尤其是G10代掩膜版已经达到1620x1780超大尺寸，靠员工手持手电筒检验条纹的方法已经不太适用，因为员工操作过程中刮伤产品的风险非常大而且不可控制，由于掩膜版价格非常昂贵，一旦发生刮伤情况会给公司带来巨大的财产损失，本实用新型采用上述方案通过首先在“U型”的底座两侧均通过第一轴承连接有支架体，两个支架体之间用于固定待检查的掩膜版，该支架体作为检查设备主体结构，能够承载1620*1780掩膜版产品；然后，在两个支架体上设置有用于连接两个支架体的夹具，夹具为一个横杆，且横杆两侧设置有卡块，保证夹具大小吻合卡扣在两个支架体上且可以沿所述支架体轴向方向移动，便于夹具沿支架体方向的调节；另外，横杆底部设置有滑槽，滑槽上设置有滑块，滑块一端凸出所述滑槽，所述滑块底部两侧通过弹性装置连接有连接块，两个所述连接块之间设置有第二轴承，所述第二轴承上设置有光源，贯穿所述滑块的凸出部分向下设置轴孔，所述轴孔内用于放置顶丝，顶丝通过旋入或者旋出所述轴孔来调节所述光源与掩膜版的距离，旋入顶丝时调近光源离掩膜版的距离，而旋出顶丝时调远光源离掩膜版的距离，同时通过滑块沿横杆底部的滑槽移动便于沿横杆方向的调节；结合夹具沿支架体方向的调节和滑块沿滑槽方向的调节来实现光源在整个掩膜版上方位置的整体调节，进而使用顶丝通过旋入或者旋出所述轴孔来调节所述光源与掩膜版的精确距离调节；本实用新型结构简单、操作使用方便，实现了半自动检验来辅助人工肉眼检查条纹，降低人员操作不当造成的磕碰风险。

进一步地，所述支架体为长条形的杆体，两个所述支架体正对的一侧均设置有卡槽，所述卡槽上设置有卡座，所述卡座一端具有与所述卡槽大小配合使用的卡进部，卡座在卡槽内可以沿卡槽方向稳定地移动，满足不同尺度掩膜版的调节；另一端设置有用于固定掩膜版的承载台，方便待检查掩膜版的放置与固定。

进一步地，所述卡槽形状为燕尾形，且所述卡槽沿所述支架体从一端延伸到另一端，燕尾形卡槽保证了卡座的卡进部与卡槽的稳定配合；所述卡槽上卡座的数量设置两个，这样两侧支架体上的卡槽上均有两个卡座，总共有四个卡座，四个卡座上对应四个承载台，稳稳地承载掩膜版的四个角，掩膜版只用放置于承载台上，通过四个卡座向中间的移动调节来卡紧，避免直接使用夹持类设备造成掩膜版的损伤。

进一步地，所述滑槽的长度不大于两个所述支架体内侧之间的距离，保证光源的照射能覆盖滑槽方向的掩膜版，优选地，采用滑槽的长度微小于两个所述支架体内侧之间的距离即可。

进一步地，所述弹性装置采用弹簧，利于光源的稳定，避免左右摇摆，同时配合顶丝旋入轴孔后顺利压缩，而顶丝旋出轴孔后弹簧顺利恢复伸长的作用。

本实用新型具有如下的优点和有益效果：

1、本实用新型在“U型”的底座两侧均通过第一轴承连接有支架体，两个支架体之间用于固定待检查的掩膜版，该支架体作为检查设备主体结构，能够承载1620*1780掩膜版产品；

2、本实用新型在两个支架体上设置有用于连接两个支架体的夹具，夹具为一个横杆，且横杆两侧设置有卡块，保证夹具大小吻合卡扣在两个支架体上且可以沿所述支架体轴向方向移动，便于夹具沿支架体方向的调节；

3、本实用新型顶丝通过旋入或者旋出所述轴孔来调节所述光源与掩膜版的距离，旋入顶丝时调近光源离掩膜版的距离，而旋出顶丝时调远光源离掩膜版的距离，同时通过滑块沿横杆底部的滑槽移动便于沿横杆方向的调节；

4、本实用新型结构简单、操作使用方便，结合夹具沿支架体方向的调节和滑块沿滑槽方向的调节来实现光源在整个掩膜版上方位置的整体调节，进而使用顶丝通过旋入或者旋出所述轴孔来调节所述光源与掩膜版的精确距离调节，实现了半自动检验来辅助人工肉眼检查条纹，降低人员操作不当造成的磕碰风险。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型实施例的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本实用新型实施例的限定。在附图中：

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型的A部放大图。

图3为本实用新型的弹性装置的上下连接图。

附图中标记及对应的零部件名称：

1-底座，2-第一轴承，3-支架体，4-横杆，5-卡块，6-滑槽，7-滑块，8-弹性装置，9-连接块，10-第二轴承，11-光源，12-顶丝，13-卡槽，14-卡座，15-掩膜版。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合实施例和附图，对本实用新型作进一步的详细说明，本实用新型的示意性实施方式及其说明仅用于解释本实用新型，并不作为对本实用新型的限定。

实施例

如图1至图3所示，一种掩膜版条纹检查辅助夹具，包括“U型”的底座1，所述底座1两侧均通过第一轴承2连接有支架体3，两个所述支架体3之间用于固定掩膜版15，所述支架体3为长条形的杆体，两个所述支架体3正对的一侧均开设有卡槽13，所述卡槽13上设置有卡座14，所述卡座14一端具有与所述卡槽13大小配合使用的卡进部、另一端设置有用于固定掩膜版15的承载台，所述卡座14通过卡进部从支架体3的两端卡槽13处卡入，且卡座14在卡槽13内可以沿卡槽13方向稳定地移动，满足不同尺度掩膜版15的调节，而卡座14另一端设置有用于固定掩膜版15的承载台，方便待检查掩膜版15的放置与固定；两个所述支架体3上设置有用于连接两个所述支架体3的夹具，所述夹具为一个横杆4，且所述横杆4两侧设置有卡块5，所述夹具的大小吻合卡扣在两个所述支架体3上且沿所述支架体3轴向方向移动；所述横杆4底部设置有滑槽6，所述滑槽6上设置有滑块7，所述滑块7一端凸出所述滑槽6，所述滑块7底部两侧通过弹性装置8连接有连接块9，弹性装置8一端焊接在滑块7底部、另一端焊接在连接块9上，两个所述连接块9之间设置有第二轴承10，所述第二轴承10上设置有光源11；贯穿所述滑块7的凸出部分向下设置轴孔，所述轴孔内用于放置顶丝12，且所述顶丝12通过旋入或者旋出所述轴孔来调节所述光源11与掩膜版15的距离；

所述卡槽13形状为燕尾形，且所述卡槽13沿所述支架体3从一端延伸到另一端，燕尾形卡槽13保证了卡座14的卡进部与卡槽13的稳定配合；所述卡槽13上卡座14的数量设置两个，这样两侧支架体3上的卡槽13上均有两个卡座14，总共有四个卡座14，四个卡座14上对应四个承载台，稳稳地承载掩膜版15的四个角，掩膜版15只用放置于承载台上，通过四个卡座14向中间的移动调节来卡紧，避免直接使用夹持类设备造成掩膜版15的损伤；

所述滑槽6的长度不大于两个所述支架体3内侧之间的距离，保证光源11的照射能覆盖滑槽6方向的掩膜版15，优选地，采用滑槽6的长度微小于两个所述支架体3内侧之间的距离即可；

所述弹性装置8采用弹簧，弹簧一端焊接在滑块7底部、另一端焊接在连接块9上，利于光源11的稳定，避免左右摇摆，同时配合顶丝12旋入轴孔后顺利压缩，而顶丝12旋出轴孔后弹簧顺利恢复伸长的作用。

工作原理是：本实用新型采用上述方案通过首先在“U型”的底座1两侧均通过第一轴承2连接有支架体3，两个支架体3之间用于固定待检查的掩膜版15，该支架体3作为检查设备主体结构，能够承载1620*1780掩膜版产品；然后，在两个支架体3上设置有用于连接两个支架体3的夹具，夹具为一个横杆4，且横杆4两侧设置有卡块5，保证夹具大小吻合卡扣在两个支架体3上且可以沿所述支架体3轴向方向移动，便于夹具沿支架体3方向的调节；另外，横杆4底部设置有滑槽6，滑槽6上设置有滑块7，滑块7一端凸出所述滑槽6，所述滑块7底部两侧通过弹性装置8连接有连接块9，两个所述连接块9之间设置有第二轴承10，所述第二轴承10上设置有光源11，贯穿所述滑块7的凸出部分向下设置轴孔，所述轴孔内用于放置顶丝12，顶丝12通过旋入或者旋出所述轴孔来调节所述光源11与掩膜版15的距离，旋入顶丝12时调近光源11离掩膜版15的距离，而旋出顶丝12时调远光源11离掩膜版15的距离，同时通过滑块7沿横杆4底部的滑槽6移动便于沿横杆4方向的调节；结合夹具沿支架体3方向的调节和滑块7沿滑槽6方向的调节来实现光源11在整个掩膜版15上方位置的整体调节，进而使用顶丝12通过旋入或者旋出所述轴孔来调节所述光源11与掩膜版15的精确距离调节。

使用过程是：首先，安装设置好支架体3，通过卡座14在卡槽13内的移动来调整支架体3上卡槽13与卡座14的位置关系，使掩膜版15能放入支架体3之间；其次，在四个对应卡座14的承载台上放上待检测的掩膜版15，并通过滑动调节卡座14的位置来使掩膜版15适当稳固地放置好；然后，放上夹具横杆4，并通过卡块5在两个支架体3上移动以调节沿支架体3方向的位置；最后，通过顶丝12旋入或者旋出轴孔来调节光源11与掩膜版15的距离，旋入顶丝12时调近光源11离掩膜版15的距离，而旋出顶丝12时调远光源11离掩膜版15的距离，同时通过滑块7沿横杆4底部的滑槽6移动便于沿横杆4方向的调节；本实用新型结构简单、操作使用方便，实现了半自动检验来辅助人工肉眼检查条纹，降低人员操作不当造成的磕碰风险。

以上所述的具体实施方式，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施方式而已，并不用于限定本实用新型的保护范围，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。