技术编号:18221396
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及显示设备制造技术领域,特别是涉及一种蒸镀装置。背景技术有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode)具有自发光、广视角、对比度高、耗电低、响应速度极快等优点。目前,制作有机发光二极管的主要方式是在真空环境下,使用蒸镀装置在基板上沉积各种功能层,形成OLED器件。在蒸镀OLED器件的功能层时,通常利用晶振探测器对基板上沉积材料的速率及厚度进行监测。晶振探测器监测的原理是通过晶振探测器对晶振片的振动频率进行监测,进而对基板上沉积材料的速率及厚度进行监控。但当...
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