技术编号：1831596
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及面向微电子、精密机械、传感与控制等多个行业的先进材料制备科学领域，具体地说是涉及一种可应用于复杂形状陶瓷器件或材料表面实现梯度结构功能性薄膜的制备技术。背景技术 众所周知，与金属、有机材料相比，先进陶瓷材料在热学、电学和力学等方面均具有独特的性能，在现代微电子、机械化工、通讯交通、生物生化等领域有着广泛的用途。陶瓷在力学性能方面一般具有高的硬度和静态力学强度，通过增韧改性可达到高的韧性和耐热冲击能力，但往往不具有强的抗化学腐蚀能力。例如Si3N4...
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