技术编号：18399893
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及太阳能电池生产PECVD技术领域，具体为一种清理炉管碎片的耙子。背景技术目前，现有的太阳能电池生产PECVD工序，通常使用的为管式PECVD。在管式PECVD生产过程中，需要把插满硅片的石墨舟送进炉管，待镀膜结束后在把石墨舟拉出来，插满硅片的石墨舟每次在炉管里面的时间为30分钟左右，炉管内温度在450℃左右，1)硅片受在升温降温的过程中因热胀冷缩，少部分质量差的硅片会碎裂从而掉在炉管内；2)硅片插进石墨舟是通过石墨舟上的三个定位柱固定的，硅片如果没插好会造成碎片或整张硅片掉在炉管内。如...
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