技术编号:18403601
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于薄膜压电材料制备领域,特别涉及一种高性能锆钛酸铅压电薄膜底电极的制备方法。背景技术锆钛酸铅(简称PZT)是属于ABO3型的钙钛矿压电材料,其化学式为Pb(ZryTi1-y)O3,当原子比Zr/Ti=0.52:0.48或0.53:0.47时,该材料具有良好的压电、介电和铁电性能。一般来说,在微机电系统上用作驱动单元的PZT薄膜一般需要有较好的压电性能。研究表明:(100)择优取向度高的PZT压电薄膜具有更高的压电系数,应用于微执行器件上时会更具有优势。此外,PZT薄膜的基底材料对PZT薄...
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