技术编号:18416159
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是有关于一种刮膜装置及刮膜方法,且特别是有关于一种用于刮除晶圆上的残胶的刮膜装置及采用此刮膜装置的刮膜方法。背景技术目前刮除晶圆上的残胶主要是通过人工刮除的方式,然而上述的方式会因为不同操作人员的操作而有不稳定的因素,如施力不稳定及施力角度不稳定等,如此易容易产生晶圆裂片以及刮伤操作人员的风险。此外,以人工刮除残胶还有效率低、时间长的问题,因此无法有效提升产能。发明内容本发明提供一种刮膜装置,可有效降低晶圆裂片以及刮伤操作人员的风险。本发明提供一种刮膜方法,采用上述的刮膜装置,可节省刮膜时...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。