技术编号:1841742
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。,制备该衬底的方法和钛与铝金属的阴极靶材的制作方法相关申请的相互参考本申请要求2003年3月28日提交、系列号为60/458,819的美国临时专利申请的权益,该美国临时专利申请通过引用全部并入本文。背景技术1.发明领域本发明一般涉及衬底上包含钛与铝的涂层,涂覆这类混合物的方法,以及作为溅射靶材的含钛与铝的材料。2.技术者虑的描述在较大面积衬底上沉积含特定类型的金属或金属氧化物的涂层的技术包括各种方法,例如气相沉积如化学气相沉积;喷涂热解;溶胶-凝胶和溅射,...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。