技术编号：18448981
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及真空镀膜领域，具体为一种连体真空镀膜机柔性传输装置。背景技术现有的连体真空镀膜圆筒机，工件（待镀膜产品）在真空室之间的转移，通常采用和转架一起平移的整体传输模式。该传输方式有以下几点不足：（1）设备的整体运行稳定性下降；因为整个转架需要平移，所以，真空室之间的过渡门尺寸较大，相应的插板阀门也要比较大，这样，就大幅度增加的阀门的制造难度；同时，阀门的工作稳定性大大降低，进而造成整个设备的运行稳定性下降；（2）成膜效率下降；因转架需要整体平移，造成镀膜的靶材只能在真空室的外圈布置，真空...
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