一种连体真空镀膜机柔性传输装置的制作方法

本实用新型涉及真空镀膜领域，具体为一种连体真空镀膜机柔性传输装置。

背景技术：

现有的连体真空镀膜圆筒机，工件（待镀膜产品）在真空室之间的转移，通常采用和转架一起平移的整体传输模式。

该传输方式有以下几点不足：

（1）设备的整体运行稳定性下降；

因为整个转架需要平移，所以，真空室之间的过渡门尺寸较大，相应的插板阀门也要比较大，这样，就大幅度增加的阀门的制造难度；同时，阀门的工作稳定性大大降低，进而造成整个设备的运行稳定性下降；

（2）成膜效率下降；

因转架需要整体平移，造成镀膜的靶材只能在真空室的外圈布置，真空室的内圈不能够装靶，否则，就会和转架移动发生冲突。

这样，靶材的安装数量就比较有限，给工艺制定和成膜速率都造成一定影响。不同位置靶材的靶基距不一致，膜层沉积速率不一致，对膜层的性能会有一定影响。

技术实现要素：

本实用新型的目的是针对现有技术的缺陷，提供一种连体真空镀膜机柔性传输装置，以解决上述背景技术提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种连体真空镀膜机柔性传输装置，包括工件装炉室、镀膜室、工件出炉室、过渡区、靶材,所述工件装炉室的一侧设有所述镀膜室，所述镀膜室的一侧设有所述工件出炉室，所述镀膜室与所述工件装炉室和所述工件出炉室之间均设有所述过渡区，所述工件装炉室、所述镀膜室和所述工件出炉室上均设有所述靶材。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述工件装炉室、所述镀膜室和所述工件出炉室之间通过螺栓固定相连。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述工件装炉室、所述镀膜室和所述工件出炉室上安装所述靶材的靶基距都完全一致，所述靶材的安装数量是整体平移方式的2倍。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述过渡区的尺寸为整体平移方式的一半大小。

本实用新型的有益效果是：该结构具有以下优势：

（1）设备的整体运行稳定性大大提高；

因为工件不再和转架一起整体平移，只需要单杆移动，真空室之间的过渡门尺寸就不需要那么大，只需要整体平移方式的一半大小就可以满足。

这样的话，阀门的加工难度就大大降低，阀门及设备的整体运行稳定性就大大提高。

（2）成膜效率大大提升；

因转架不需要整体平移，这样的话，真空室的内外圈都可以安装靶材，靶材的安装数量是整体平移方式的2倍。工艺安排和成膜速率都有很大优势。

（3）各位位置的靶基距都完全一致，膜层沉积速率的一致性和膜层性能，都较整体平移方式有很大改善。

附图说明：

图1为本实用新型的柔性传输方式图；

图2为本背景技术的整体平移方式图纸；

图中：1、工件装炉室；2、镀膜室；3、工件出炉室；4、过渡区，5、靶材。

具体实施方式：

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易被本领域人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

实施例1

请参阅图1，本实用新型提供一种技术方案：一种连体真空镀膜机柔性传输装置，包括工件装炉室1、镀膜室2、工件出炉室3、过渡区4、靶材5,工件装炉室1的一侧设有镀膜室2，镀膜室2的一侧设有工件出炉室3，镀膜室2与工件装炉室1和工件出炉室3之间均设有过渡区4，工件装炉室1、镀膜室2和工件出炉室3上均设有靶材5。

工件装炉室1、镀膜室2和工件出炉室3之间通过螺栓固定相连。

工件装炉室1、镀膜室2和工件出炉室3上安装靶材5的靶基距都完全一致，靶材5的安装数量是整体平移方式的2倍。

过渡区4的尺寸为整体平移方式的一半大小。

工作原理：一种连体真空镀膜机柔性传输装置，包括工件装炉室1、镀膜室2、工件出炉室3、过渡区4、靶材5,设备的整体运行稳定性大大提高；因为工件不再和转架一起整体平移，只需要单杆移动，真空室之间的过渡门尺寸就不需要那么大，只需要整体平移方式的一半大小就可以满足。这样的话，阀门的加工难度就大大降低，阀门及设备的整体运行稳定性就大大提高。成膜效率大大提升；因转架不需要整体平移，这样的话，真空室的内外圈都可以安装靶材，靶材的安装数量是整体平移方式的2倍。工艺安排和成膜速率都有很大优势。各位位置的靶基距都完全一致，膜层沉积速率的一致性和膜层性能，都较整体平移方式有很大改善。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。