技术总结
本实用新型公开了一种连体真空镀膜机柔性传输装置，包括工件装炉室、镀膜室、工件出炉室、过渡区、靶材,所述工件装炉室的一侧设有所述镀膜室，所述镀膜室的一侧设有所述工件出炉室，所述镀膜室与所述工件装炉室和所述工件出炉室之间均设有所述过渡区，所述工件装炉室、所述镀膜室和所述工件出炉室上均设有所述靶材。设备的整体运行稳定性大大提高；因为工件不再和转架一起整体平移，只需要单杆移动，真空室之间的过渡门尺寸就不需要那么大，只需要整体平移方式的一半大小就可以满足。成膜效率大大提升；各位位置的靶基距都完全一致，膜层沉积速率的一致性和膜层性能，都较整体平移方式有很大改善。
技术研发人员：赵文强;尹忠乐
受保护的技术使用者：佛山市南海区晶鼎泰机械设备有限公司
技术研发日：2018.12.25
技术公布日：2019.08.16