1.一种连体真空镀膜机柔性传输装置,包括工件装炉室(1)、镀膜室(2)、工件出炉室(3)、过渡区(4)、靶材(5),其特征在于:所述工件装炉室(1)的一侧设有所述镀膜室(2),所述镀膜室(2)的一侧设有所述工件出炉室(3),所述镀膜室(2)与所述工件装炉室(1)和所述工件出炉室(3)之间均设有所述过渡区(4),所述工件装炉室(1)、所述镀膜室(2)和所述工件出炉室(3)上均设有所述靶材(5)。
2.根据权利要求1所述的一种连体真空镀膜机柔性传输装置,其特征在于:所述工件装炉室(1)、所述镀膜室(2)和所述工件出炉室(3)之间通过螺栓固定相连。
3.根据权利要求1所述的一种连体真空镀膜机柔性传输装置,其特征在于:所述工件装炉室(1)、所述镀膜室(2)和所述工件出炉室(3)上安装所述靶材(5)的靶基距都完全一致,所述靶材(5)的安装数量是整体平移方式的2倍。
4.根据权利要求1所述的一种连体真空镀膜机柔性传输装置,其特征在于:所述过渡区(4)的尺寸为整体平移方式的一半大小。