技术编号:18449083
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及晶体生长技术领域,更具体地说,是涉及一种VB/VGF法晶体生长用石英管及装置。背景技术VB/VGF方法是生长高质量、低位错晶体的主要工艺技术之一。目前,成熟的VB/VGF法晶体生长技术是将籽晶、脱水氧化硼、多晶料装入热解氮化硼(PBN)坩埚中,再将PBN坩埚装到石英管中并装上封帽,通过抽真空,将石英管内真空抽到所需真空度,再将石英管和石英帽焊接到一块密封,最后放入VGF炉中进行热解。其中所采用的石英管,需要焊接密封,然而,焊接密封的石英管,一方面只能一次性使用,造成成本高;另一方面...
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