技术编号:18455576
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体制造技术领域,特别涉及一种石英圆板/法兰加工装置及方法。背景技术在石英圆板或法兰加工时,现有加工工艺是由人工用氢氧气火焰对石英圆板或法兰表面做火焰抛光处理,以达到内外表面光洁度要求。由于采用人工处理,此工艺在不同人员操作下会存在火焰和操作手法上的差异,而导致产品质量的不稳定。发明内容本发明提供了一种石英圆板/法兰加工装置及方法,目的在于解决石英圆板/法兰加工质量不受控的问题。本发明实施例之一,一种石英圆板/法兰加工装置,包括工作转台,能够被控制进行旋转,工作转台的台面上放置墨模具...
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