石英圆板/法兰加工装置及方法与流程

本发明属于半导体制造技术领域，特别涉及一种石英圆板/法兰加工装置及方法。

背景技术：

在石英圆板或法兰加工时，现有加工工艺是由人工用氢氧气火焰对石英圆板或法兰表面做火焰抛光处理，以达到内外表面光洁度要求。由于采用人工处理，此工艺在不同人员操作下会存在火焰和操作手法上的差异，而导致产品质量的不稳定。

技术实现要素：

本发明提供了一种石英圆板/法兰加工装置及方法，目的在于解决石英圆板/法兰加工质量不受控的问题。

本发明实施例之一，一种石英圆板/法兰加工装置，包括

工作转台，能够被控制进行旋转，工作转台的台面上放置墨模具和石英圆板/法兰；

红外线温度控制器，用于控制火焰温度；

流量表控制氢氧气的流量，以保证火焰的稳定性；

自动点火装置，用于对火焰枪进行点火；

机器人手臂，在该机器人手臂端部设有火焰枪卡爪，所述火焰枪卡爪用于抓设火焰枪，火焰枪用于对工作转台上的石英圆板/法兰火焰抛光处理。

本发明采用自动机械手臂的卡爪抓住火焰枪，将石英圆板或石英法兰放置在石墨模具上，装夹在工作转台上并做旋转运动。火焰枪自动点火后，自动机械手臂可以在一定角度的控制范围内调整火焰枪的角度并在流量表的控制下保证火焰的稳定性，开启自动工作转台旋转。火焰枪在红外线温度的控制下对石英圆板或石英法兰内、外表面做火焰抛光处理，实现了对石英圆板或石英法兰抛光处理的自动控制。

本发明的技术方案，可以根据半导体晶圆制程中对颗粒的严格管控，通过火焰的大小影响表面颗粒度；通过控制火焰温度的高低影响形变量，通常人工平面度在0.3以上，而本发明装置的平面度能控制在0.15以内；现有的工艺存在操作人员的劳动负荷大、操作人员工作环境温度较高、加工效率相对较低等弊端，如果人工操作需要30min完成，而本发明装置完成时间仅为10min。

附图说明

通过参考附图阅读下文的详细描述，本发明示例性实施方式的上述以及其他目的、特征和优点将变得易于理解。在附图中，以示例性而非限制性的方式示出了本发明的若干实施方式，其中：

图1根据本发明实施例之一的石英圆板/法兰加工装置示意图。

1——工作转台，2——第一卡爪，3———石墨模具，4——石英圆板/环，5——自动点火装置，6——火焰枪卡爪，7——流量控制表，8——红外线测温仪，9——机器人手臂。

具体实施方式

根据一个或者多个实施例，如图1所示，一种石英圆板/法兰加工装置，包括工作转台、机器人手臂、石墨模具、自动点火装置、流量控制表和红外线测温仪。工作转台能够被电脑控制进行旋转，工作转台的台面上放置石墨模具和石英圆板/法兰，石墨模具上放置石英圆板/法兰，石墨模具主要用于保证石英圆板/法兰的平面度。在机器人手臂端部设有火焰枪卡爪，火焰枪卡爪用于抓设火焰枪。自动点火装置用于对火焰枪进行自动点火控制，流量控制表用于检测控制火焰枪燃气的流量，红外测温仪用于检测火焰温度。在流量控制表和红外测温仪的控制下，火焰枪对工作转台上的石英圆板/法兰火焰抛光处理。石英圆板/法兰被用第一卡爪固定在工作转台的台面上，同时第一卡爪也被用来移动搬运所述的石英圆板/法兰。

根据一个或者多个实施例，一种石英圆板/法兰加工方法，所述的加工方法包括步骤：

将火焰枪通过火焰枪卡爪装在第一机器人手臂上；

第二机器人手臂采用第一卡爪卡住将石墨模具上的石英圆板/法兰放置在工作转台上的台面上，并且将第一卡爪留在工作转台的台面上用以卡住石英圆板/法兰；

自动开启火焰枪的火焰；

在流量控制表和红外测温仪的控制下，工作转台在按一个方向自动旋转，火焰枪在机器人手臂的控制下自动调整角度，在运动中对石英圆板/法兰做火焰抛光处理。

火焰枪还连接着氢氧气管道，用以输送氢氧燃气。

值得说明的是，虽然前述内容已经参考若干具体实施方式描述了本发明创造的精神和原理，但是应该理解，本发明并不限于所公开的具体实施方式，对各方面的划分也不意味着这些方面中的特征不能组合，这种划分仅是为了表述的方便。本发明旨在涵盖所附权利要求的精神和范围内所包括的各种修改和等同布置。