1.一种石英圆板/法兰加工装置,其特征在于,包括
工作转台,能够被控制进行旋转,工作转台的台面上放置石墨模具和石英圆板/法兰;
机器人手臂,在该机器人手臂端部设有火焰枪卡爪,所述火焰枪卡爪用于抓设火焰枪,火焰枪用于对工作转台上的石英圆板/法兰火焰抛光处理;
红外线温度控制器,设置在机器人手臂端部以检测控制火焰温度;
流量控制表,设置在火焰枪通气管上,检测控制燃气的流量以保证火焰的稳定性;
自动点火装置,用以对火焰枪的点火控制。
2.根据权利要求1所述的石英圆板/法兰加工装置,其特征在于,石英圆板/法兰被放置石墨模具上,然后用第一卡爪固定在工作转台的台面上,同时第一卡爪也被用来移动搬运所述的石英圆板/法兰。
3.一种石英圆板/法兰加工方法,其特征在于,采用如权利要求1所述的石英圆板/法兰加工装置,所述的加工方法包括步骤:
将火焰枪通过火焰枪卡爪装在机器人手臂上,
采用第一卡爪卡住工作转台上的石墨模具,
在石墨模具上固定石英圆板/法兰,
通过自动点火器开启火焰枪的火焰,
通过流量控制表控制火焰枪的燃气流量,
工作转台在按一个方向自动旋转,火焰枪在机器人手臂的控制下自动调整角度,并在红外线测温仪的监测下,在运动中对石英圆板/法兰做火焰抛光处理。