技术编号：18468959
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及多晶合成技术领域，尤其涉及一种砷化镓多晶的制作方法及装置。背景技术砷化镓是二元化合物，砷的蒸气压较高，且镓和砷容易氧化，故合成砷化镓多晶并不容易。目前工业上应用最为广泛的是水平梯度凝固法合成的GaAs多晶，水平梯度凝固法所需要的设备简单，合成过程中，需要把砷和镓装在氮化硼舟里，然后装进石英管中，密封在石英管内的砷和镓不受外界环境的影响；合成之后，再利用定向凝固对多晶进行提纯，得到比原料纯度更高的GaAs多晶。现有的使用石英管合成砷化镓多晶后，在石英管切割机上需要旋转石英管用锯片将其石英...
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