技术编号:18490200
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及实验设备领域,具体涉及一种旋涂机底盘。背景技术旋涂机适用于微电子、半导体、制版、新能源、生物材料、光学及表面涂覆等工艺,主要应用于溶胶-凝胶实验中的薄膜制作,其工作原理是高速旋转基片,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂布在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。可在工矿企业、科研、教育等单位作生产、科研、教学之用。在实验室中,主要利用真空泵抽真空将载玻片吸附在底盘上,在使用过程中,可能因为操作不当等缘故使得载玻片未能完全吸附,在实验过程可中可能飞出...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。