一种旋涂机底盘的制作方法

本实用新型涉及实验设备领域，具体涉及一种旋涂机底盘。

背景技术：

旋涂机适用于微电子、半导体、制版、新能源、生物材料、光学及表面涂覆等工艺，主要应用于溶胶-凝胶实验中的薄膜制作，其工作原理是高速旋转基片，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂布在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。可在工矿企业、科研、教育等单位作生产、科研、教学之用。

在实验室中，主要利用真空泵抽真空将载玻片吸附在底盘上，在使用过程中，可能因为操作不当等缘故使得载玻片未能完全吸附，在实验过程可中可能飞出，在成实验失败甚至人员受伤。

技术实现要素：

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种采用螺母螺栓固定方式代替吸附方式固定的旋涂底盘。

本实用新型所述旋涂机底盘，包括底板、压板、垫块和固定装置，压板放置于底板上面，中间通过垫块分隔开，所述固定装置包括螺母和螺栓，螺栓贯穿底板和压板，并通过螺母旋紧固定。本实用新型采用螺母螺栓固定方式代替吸附方式固定，避免了每次实验抽真空的繁琐，节省了大量的试验时间，使得实验更加方便易操作，解决了现有技术操作有危险的缺点，使实验人员操作更加方便安全。

所述垫块可伸缩，使得本实用新型可用于不同规格基片旋涂。

所述压板、垫块、螺母和螺栓分别有四个，此种固定方式更加牢靠，避免高速旋转时基片飞出。

本实用新型相比现有技术，具有以下有益效果：避免了每次实验抽真空的繁琐，节省了大量的试验时间，使得实验更加方便易操作；解决了现有技术操作有危险的缺点，使实验人员操作更加方便安全；该装置不用真空泵即可使用旋涂机，节约了实验室空间。

附图说明

图1为本实用新型剖视图；

图2为本实用新型俯视图；

其中：1-底片、2-基片、3-垫块、4-压板、5-螺母、6-螺栓。

具体实施方式

本实用新型主要应用于薄膜制作工艺中，下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明。

如图1所示，本实用新型包括底板1、压板4、垫块3、螺母5和螺栓6，压板4放置于底板1上面，中间通过垫块3分隔开，螺栓6贯穿底板1和压板4，并通过螺母5旋紧固定。

本实用新型工作过程如下：

使用前将螺母5与压板4去除，将基片2放于底板1上，使用垫块3、压板4将基片2压住，拧紧螺母5将其固定，即可打开旋涂机开始旋涂。

本实用新型避免了每次实验抽真空的繁琐，节省了大量的试验时间，使得实验更加方便易操作；解决了现有技术操作有危险的缺点，使实验人员操作更加方便安全；该装置不用真空泵即可使用旋涂机，节约了实验室空间。