一种旋涂机底盘的制作方法

文档序号:18490200发布日期:2019-08-21 00:50阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种旋涂机底盘,其特征在于:包括底板、压板、垫块和固定装置;压板放置于底板上面,中间通过垫块分隔开;所述固定装置包括螺母和螺栓,螺栓贯穿底板和压板,并通过螺母旋紧固定;所述压板、垫块、螺母和螺栓分别有四个;所述的压板呈对称式、均匀的分布在基片的边缘处。

2.根据权利要求1所述的旋涂机底盘,其特征在于:所述垫块可伸缩。

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