技术编号:1856542
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型有关一种晶圆加工设备的机台基座结构,特别是指水泥表面被覆有一层适当厚度保护膜的机台基座结构。本实用新型的技术方案如下一种晶圆加工设备的机台基座结构,包括有一内部骨架、容纳前述内部骨架的外围钢框以及灌注于外围钢框中的水泥;内部骨架是由配合外围钢框的复数支纵向钢筋、横向钢筋及垂直钢筋相交于交点焊固而成一体,其嵌合于外围钢框内;外围钢框是配合前述内部骨架被容纳的钢框体;前述外围钢框内缘与前述内部骨架各钢筋接触部均焊固连接成一体;水泥灌注于已焊固前述内部...
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