专利名称：晶圆加工设备的机台基座结构的制作方法
技术领域：
本实用新型有关一种晶圆加工设备的机台基座结构，特别是指水泥表面被覆有一层适当厚度保护膜的机台基座结构。
本实用新型的技术方案如下一种晶圆加工设备的机台基座结构，包括有一内部骨架、容纳前述内部骨架的外围钢框以及灌注于外围钢框中的水泥；内部骨架是由配合外围钢框的复数支纵向钢筋、横向钢筋及垂直钢筋相交于交点焊固而成一体，其嵌合于外围钢框内；外围钢框是配合前述内部骨架被容纳的钢框体；前述外围钢框内缘与前述内部骨架各钢筋接触部均焊固连接成一体；水泥灌注于已焊固前述内部骨架的外围钢框中，前述内部骨架完全凝固在水泥中，并与前述外围钢框凝固成一体；其特征在于，于前述水泥凝固稳定后的上表面被覆有一保护膜，该保护膜用以使水泥与外界隔绝，以达到防止水泥尘灰泄漏与空气氧化的效果。
所述保护膜是一层环氧树脂。
根据上述结构特征，本实用新型在水泥凝固稳定后的上表面被覆有一保护膜，从而可达到防止水泥尘灰泄漏与空气氧化的效果。
图2为
图1中水泥内部骨架与外围钢框结构示意图。
图3为图2中内部骨架局部放大示意图。
图号说明1基座 2内部骨架 3外围钢框 4水泥 5保护膜 6纵向钢筋7横向钢筋 8垂直钢筋 9焊固
权利要求1.一种晶圆加工设备的机台基座结构，包括有一内部骨架、容纳前述内部骨架的外围钢框以及灌注于外围钢框中的水泥；内部骨架是由配合外围钢框的复数支纵向钢筋、横向钢筋及垂直钢筋相交于交点焊固而成一体，其嵌合于外围钢框内；外围钢框是配合前述内部骨架被容纳的钢框体；前述外围钢框内缘与前述内部骨架各钢筋接触部均焊固连接成一体；水泥灌注于已焊固前述内部骨架的外围钢框中，前述内部骨架完全凝固在水泥中，并与前述外围钢框凝固成一体；其特征在于，于前述水泥凝固稳定后的上表面被覆有一使水泥与外界隔绝的保护膜。
2.根据权利要求1所述的晶圆加工设备的机台基座结构，其特征在于，所述保护膜是一层环氧树脂。
专利摘要一种晶圆加工设备的机台基座结构，包括有一内部骨架、容纳前述内部骨架的外围钢框以及灌注于外围钢框中的水泥；其特征在于由水泥凝固内部骨架于外围钢框中的水泥上表面被覆有一层适当厚度的保护膜，用以使水泥与外界隔绝，以达到防止水泥尘灰泄漏与空气氧化的效果。
文档编号B28B17/00GK2601159SQ0320466
公开日2004年1月28日 申请日期2003年2月26日 优先权日2003年2月26日
发明者陈水源, 陈水生, 陈添丁 申请人:陈水源, 陈水生, 陈添丁