技术编号：18577567

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本实用新型涉及太阳能电池领域，尤其涉及一种TMA输送管道维护吹扫装置。背景技术目前薄膜太阳能电池的制造中，TMA(三甲基铝液体)通常通过钢瓶储存气体供应站房中，整个TMA(三甲基铝液体)输送过程中包括供应装置柜、缓冲装置柜、至客户机台端输送总管，在长期使用中及换瓶吹扫或机台停机维护的过程中会有少量输送载气(Ar或N2)进入到输送管道的TMA(三甲基铝液体)介质中，同时TMA(三甲基铝液体)介质中也存在极细微的颗粒，由于薄膜太阳能电池进液端质量流量计控制要求比较高，因此细微的颗粒或者气泡都会导致机...
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