一种TMA输送管道维护吹扫装置的制作方法

本实用新型涉及太阳能电池领域，尤其涉及一种TMA输送管道维护吹扫装置。

背景技术：

目前薄膜太阳能电池的制造中，TMA(三甲基铝液体)通常通过钢瓶储存气体供应站房中，整个TMA(三甲基铝液体)输送过程中包括供应装置柜、缓冲装置柜、至客户机台端输送总管，在长期使用中及换瓶吹扫或机台停机维护的过程中会有少量输送载气(Ar或N2)进入到输送管道的TMA(三甲基铝液体)介质中，同时TMA(三甲基铝液体)介质中也存在极细微的颗粒，由于薄膜太阳能电池进液端质量流量计控制要求比较高，因此细微的颗粒或者气泡都会导致机台端的大的波动，严重时会堵塞机台的蒸发器，导致生产中断，降低生产效率。

技术实现要素：

基于以上所述，本实用新型提供一种TMA输送管道维护吹扫装置，以解决现有客户机台无法抽真空及压回的问题。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种TMA输送管道维护吹扫装置，包括进口气动装置、缓冲装置、进口气动管道和缓冲装置管道，所述进口气动装置上连接进口气动管道，所述缓冲装置管道连接进口气动装置和缓冲装置。

作为本实用新型的一种优选方式，所述进口气动装置内设置有多个进口气动阀，多个进口气动阀分别对应连接多个进口气动管道。

作为本实用新型的一种优选方式，所述多个进口气动阀分别对应连接多个缓冲装置管道。

作为本实用新型的一种优选方式，所述缓冲装置内设置有缓冲罐，所述缓冲罐与多个缓冲装置管道相连接。

作为本实用新型的一种优选方式，所述进口气动管道上设置有手动阀、单向阀和调压阀。

作为本实用新型的一种优选方式，所述缓冲装置管道上设置有手动阀。

作为本实用新型的一种优选方式，所述缓冲罐上还连接有去真空泵和去尾气处理器。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型本发明是提供一种用于薄膜太阳能电池的TMA特气输送管道系统的定期维护装置，无需客户机台全部停机，仅根据客户机台维护周期，进行跟随性单TMA管路定期维护，具有TMA管路维护吹扫速度快、安全性高、人工成本低廉和操作简单的特点，最主要的是能够无法抽真空及压回的情况。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对本实用新型实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍。

图1是本实用新型实施方式提供的进口气动装置示意图；

图2是本实用新型实施方式提供的缓冲装置示意图。

具体实施方式

为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本实用新型实施例的技术方案作进一步的详细描述。

如图1-图2所示，本实施方式提供一种TMA输送管道维护吹扫装置，主要包括进口气动装置1、缓冲装置2、进口气动管道3和缓冲装置管道4，进口气动装置1上连接进口气动管道3，缓冲装置管道4连接进口气动装置1和缓冲装置2，优选的，进口气动装置1内设置有多个进口气动阀5，多个进口气动阀5分别对应连接多个进口气动管道3，且多个进口气动阀5分别对应连接多个缓冲装置管道4，二者之间一一对应。缓冲装置2内设置有缓冲罐6，缓冲罐6与多个缓冲装置管道4相连接，此外，在进口气动管道3上设置有手动阀7、单向阀8和调压阀9，且缓冲装置管道4上也设置有手动阀7，本实施方式中的缓冲罐6上还连接有去真空泵10和去尾气处理器11，且在去尾气处理器11与缓冲罐6连接的管道上均设置有手动阀7。

实施时，分为以下几个步骤进行：

第一步，进行维护时，机台端关闭进口气动阀5，并关闭缓冲装置管道4上的手动阀7；

第二步，启动缓冲罐6，通过去真空泵10进行抽负压处理；

第三步，打开第一条缓冲装置管道4上的手动阀7，将该管道内的TMA压回缓冲罐6内；

第四步，关闭与第一条缓冲装置管道4相对应的进口气动管道3上的手动阀7；

第五步，打开去尾气处理器11上的手动阀7，并对第一条输送管线进行抽负压处理；

第六步，关闭去尾气处理器11上的手动阀7，并对第一条输送管线进行吹气；

第七步，重复上述步骤多次，完成对第一条输送管线的维护。

注意，上述仅为本实用新型的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本实用新型不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本实用新型进行了较为详细的说明，但是本实用新型不仅仅限于以上实施例，在不脱离本实用新型构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本实用新型的范围由所附的权利要求范围决定。