技术总结
本实用新型公开一种TMA输送管道维护吹扫装置，包括进口气动装置、缓冲装置、进口气动管道和缓冲装置管道，进口气动装置上连接进口气动管道，缓冲装置管道连接进口气动装置和缓冲装置，本实用新型本实用新型是提供一种用于薄膜太阳能电池的TMA特气输送管道系统的定期维护装置，无需客户机台全部停机，仅根据客户机台维护周期，进行跟随性单TMA管路定期维护，具有TMA管路维护吹扫速度快、安全性高、人工成本低廉和操作简单的特点，最主要的是能够无法抽真空及压回的情况。
技术研发人员：刘玉峰
受保护的技术使用者：上海正帆科技股份有限公司
技术研发日：2018.12.29
技术公布日：2019.08.30