一种TMA输送管道维护吹扫装置的制作方法

文档序号:18577567发布日期:2019-08-31 02:08阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种TMA输送管道维护吹扫装置,其特征在于,包括进口气动装置、缓冲装置、进口气动管道和缓冲装置管道,所述进口气动装置上连接进口气动管道,所述缓冲装置管道连接进口气动装置和缓冲装置。

2.根据权利要求1所述的TMA输送管道维护吹扫装置,其特征在于,所述进口气动装置内设置有多个进口气动阀,多个进口气动阀分别对应连接多个进口气动管道。

3.根据权利要求2所述的TMA输送管道维护吹扫装置,其特征在于,所述多个进口气动阀分别对应连接多个缓冲装置管道。

4.根据权利要求1所述的TMA输送管道维护吹扫装置,其特征在于,所述缓冲装置内设置有缓冲罐,所述缓冲罐与多个缓冲装置管道相连接。

5.根据权利要求1所述的TMA输送管道维护吹扫装置,其特征在于,所述进口气动管道上设置有手动阀、单向阀和调压阀。

6.根据权利要求1所述的TMA输送管道维护吹扫装置,其特征在于,所述缓冲装置管道上设置有手动阀。

7.根据权利要求4所述的TMA输送管道维护吹扫装置,其特征在于,所述缓冲罐上还连接有去真空泵和去尾气处理器。

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