一种石英管清洗装置的制作方法

本实用新型涉及芯片处理装置技术领域，尤其涉及一种石英管清洗装置。

背景技术：

石英管作为常用的石英制品，在P型扩散闭管前，需要对其进行除杂处理，通常是用酸液进行冲洗，现有的小型石英管在冲洗时，需要支架进行支撑，但是现有的支架无法实现旋转，而且酸雾和酸液回收不方便，不能方便工作人员使用。

授权公告号为：CN 207170468 U的实用新型公开了一种石英管清洗设备，包括底座架、设置在底座架顶部的清洗槽，清洗槽中部设有水平的筛板，筛板将清洗槽分隔成上方的清洗腔和下方的集水腔，清洗腔尾端设有便于抽放石英管的上料缺口，清洗腔侧面设有前后延伸的倾斜滑槽，倾斜滑槽前高后底，倾斜滑槽设有沿倾斜滑槽前后运动的搬运小车，搬运小车顶部设有托住石英管的托架，托架设有限位弧形槽，集水腔侧面底部设有溢流口，筛板上设有便于水流入集水腔的落水孔；该专利只是针对普通的石英冲洗处理，无法实现酸洗时酸雾的处理还有回收利用的问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种石英管清洗装置，解决了现有技术中的石英管在封管前需要清理的技术问题。

一种石英管清洗装置，包括腔体，所述腔体内部通过竖直的隔板分隔为冲洗腔和回收腔，所述冲洗腔内部设置有水平的支撑板，所述支撑板上设置有用于支撑石英管的滚动机构。

在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进：

进一步地，所述滚动机构为两个，且滚动机构间隔设置，靠近所述回收腔的滚动机构的高度大于远离所述回收腔的滚动机构的高度，采用本步的有益效果是通过不同高度的滚动机构来支撑石英管，这样能够保证酸水冲洗石英管内部，完成清洗。

进一步地，所述滚动机构包括滚动支架和滚轮，所述滚动支架上间隔设置有滚动槽，所述滚轮两端设置有滚动轴，所述滚动轴设置在滚动槽内部，采用本步的有益效果是利用滚动的转动，从而实现石英管在滚动机构上滚动，这样能够提高清洗效果。

进一步地，所述支撑板上设置有隔条，所述隔条位于所述滚动机构之间，采用本步的有益效果是通过隔条进行限位，保证滚动机构之间的间距。

进一步地，所述支撑板上开设有第一回收孔，所述回收腔底部设置有第二回收孔，采用本步的有益效果是通过多个回收孔可以充分回收酸液，从而能够实现资源循环利用。

进一步地，所述腔体的正面设置有玻璃移门，背面设置有通风口，采用本步的有益效果是通过通风口进行吸气，从而有效避免腔体内部充满酸雾，便于员工操作。

本实用新型的有益效果：

1.本实用新型提供一种石英管清洗装置，用于完成石英管的清洗，在进行闭管操作之前，需要对石英管进行清理；本实用新型设置有滚动机构，利用滚轮可以便于石英管的旋转冲洗，这样提高冲洗效果；

2.本实用新型中的滚动机构高度不一致，形成倾斜，便于酸水的流动冲洗；

3.本实用新型还设置有通风口，通风口连接吸气装置，这样能够有效避免腔体内部形成酸雾，影响人员操作。

4.本实用新型结构简单，操作方便，且实用性高。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型具体实施例所述的一种石英管清洗装置的结构示意图；

图2为本实用新型具体实施例所述的一种石英管清洗装置的滚动机构结构示意图；

图3为本实用新型具体实施例所述的一种石英管清洗装置的背面通风口的示意图；

附图标记：

1-腔体；2-隔板；3-冲洗腔；4-回收腔；5-支撑板；6-滚动机构；7-第一回收孔；8-第二回收孔；9-隔条；

101-玻璃移门；102-通风口；

601-滚动支架；602-滚轮；603-滚动槽；604-滚动轴。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。

需要注意的是，除非另有说明，本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域技术人员所理解的通常意义。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例：

如图1-2所示，本实用新型所提供的一种石英管清洗装置，包括腔体1，所述腔体1内部通过竖直的隔板2分隔为冲洗腔3和回收腔4，所述冲洗腔3内部设置有水平的支撑板5，所述支撑板5上设置有用于支撑石英管的滚动机构6；本实施例中的腔体1设置有隔板2，分离后形成两个腔室，一个用于冲洗，另一个用于回收酸液；本实施例在冲洗腔3上设置有滚动机构6，这样滚动机构6能够带动石英管转动，提高清洗效果。

如图1所示，所述滚动机构6为两个，且滚动机构6间隔设置，靠近所述回收腔4的滚动机构的高度大于远离所述回收腔4的滚动机构的高度，本实施例中支撑板5是倾斜设置的，这样酸水流进入石英管后，会向一个方向流动，同时转动石英管，这样石英管内部就能够形成旋转的水流，从而完成石英管的冲洗。

如图2所示，所述滚动机构6包括滚动支架601和滚轮602，所述滚动支架601上间隔设置有滚动槽603，所述滚轮602两端设置有滚动轴604，所述滚动轴604设置在滚动槽603内部，本实施例中滚动支架601可以支撑滚轮，其上开设有两个凹槽，如图2所示，这样滚轮轴604能够在滚动槽603内部转动，从而滚轮602也能完成转动，实现石英管的转动。

如图2所示，所述支撑板5上设置有隔条9，所述隔条9位于所述滚动机构6之间，本实施例中的隔条9为多个，这样两个滚动机构6之间的间距可以通过隔条9。

如图2所示，所述支撑板5上开设有第一回收孔7，所述回收腔4底部设置有第二回收孔8，本实施例中的回收孔有两个，第一回收孔是设置在支撑板5上的，远离回收腔4，这样水流就会通过第一回收孔流向腔体1底部；而第二回收孔8是开设在回收腔4底部的，这样有部分的酸液没有进入石英管，会直接进入到回收腔4中，完成回收利用。

如图1、3所示，所述腔体1的正面设置有玻璃移门101，背面设置有通风口102，通过通风口进行吸气，从而有效避免腔体内部充满酸雾，便于员工操作。

本实用新型的说明书中，说明了大量具体细节。然而，能够理解，本实用新型的实施例可以在没有这些具体细节的情况下实践。在一些实例中，并未详细示出公知的方法、结构和技术，以便不模糊对本说明书的理解。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求和说明书的范围当中。