技术编号:18692862
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种成膜装置,尤其涉及具有观察窗且观察窗不容易破损的成膜装置。背景技术通常,在真空条件下进行成膜的真空成膜装置在放置被处理物的腔室的壁面具有观察窗,能够透过观察窗观察真空成膜装置的腔室内以便监视被处理物的处理状态。为了监视腔室内而在观察窗设有由透明材料例如玻璃构成的观察板,当透明的观察板因附着有在成膜装置的腔室内部飞散的蒸镀粒子或溅射粒子而变得不透明时,监视能力下降,导致无法监视腔室内的处理状态。因此,在现有技术中,在观察板的前方设有挡板。当在腔室内进行蒸镀或溅射时,将该挡板旋转至...
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