成膜装置的制作方法

本实用新型涉及一种成膜装置，尤其涉及具有观察窗且观察窗不容易破损的成膜装置。

背景技术：

通常，在真空条件下进行成膜的真空成膜装置在放置被处理物的腔室的壁面具有观察窗，能够透过观察窗观察真空成膜装置的腔室内以便监视被处理物的处理状态。

为了监视腔室内而在观察窗设有由透明材料例如玻璃构成的观察板，当透明的观察板因附着有在成膜装置的腔室内部飞散的蒸镀粒子或溅射粒子而变得不透明时，监视能力下降，导致无法监视腔室内的处理状态。因此，在现有技术中，在观察板的前方设有挡板。当在腔室内进行蒸镀或溅射时，将该挡板旋转至观察板的前方以防止蒸镀粒子或溅射粒子等附着到观察板上，而在需要观察腔室内的处理状态时，停止成膜工序，旋转挡板露出观察板，使得能够透过观察窗观察到腔室内。

作为这样的具有挡板的观察窗，日本实开昭62-194758中记载了下述结构：在观察板的中心设有被真空密封的手柄，在该手柄的真空侧，以接近观察板内面的方式安装有被分割成多片的用于防止溅射的挡板叶片，通过旋转手柄，能够开闭挡板。如图1所示(图1基于日本实开昭62-194758的图1而作)，在轴承7安装有O形环8，并利用螺母9对观察板进行紧固。

但是，由图1所示可知，轴承7在A部位与观察板4直接接触，另外，螺母9在拧合到轴承7上时与观察板4的另一侧直接接触。在拧紧螺母9时，一旦使用的力矩超出观察板4所能承受的程度，则轴承7的A部位以及螺母9施加于观察板4的应力容易造成观察板4的中心孔边缘的破损。

现有技术：日本实开昭62-194758。

技术实现要素：

本实用新型是为了解决上述问题而做出的，其主要目的在于提供一种即使用较大的力矩拧合支承部件也不容易造成观察窗破损的成膜装置。

本实用新型提供一种成膜装置，包括：

真空容器，所述真空容器收容成膜材料并执行成膜作业；以及

观察窗，所述观察窗设于所述真空容器的壁面；

所述成膜装置的特征在于，

所述观察窗具有：

观察板，所述观察板由透明材料形成；

凸缘部；

轴部，所述轴部与所述凸缘部相连，穿过所述观察板，并且设有第一螺纹；以及

支承部件，所述支承部件拧合于所述第一螺纹上，从而将所述观察板夹持在所述凸缘部和所述支承部件之间，

其中，在所述轴部设有台阶部，所述台阶部位于所述第一螺纹与所述观察板之间，用于在轴向上对所述支承部件进行限位。

优选的是，所述凸缘部的朝向所述观察板的一侧设有用于容纳第一密封件的环形凹槽。

优选的是，所述环形凹槽的径向内侧壁与所述轴部的外侧壁平齐。

优选的是，所述第一密封件为O型环，当所述支承部件拧合于所述第一螺纹上时，所述O形环的上下方向上的尺寸大于所述环形凹槽的深度。

优选的是，所述支承部件与所述观察板之间设置有弹性或韧性垫圈。

优选的是，所述轴部具有为了使操作轴沿轴向贯通而设置的第一中空部，所述操作轴穿过所述轴部，且所述操作轴的内侧端突出于所述轴部的内侧端。

优选的是，所述操作轴的内侧端安装有挡板，用于遮挡所述观察板的内侧面，以防止成膜材料附着所述内侧面。

优选的是，所述操作轴包括第一轴和第二轴；

所述第一轴可旋转地穿过所述第一中空部并突出于所述轴部的内侧端；

所述第一轴具有沿轴向设置的第二中空部，所述第二轴可旋转地穿过所述第二中空部并突出于所述第一轴的内侧端；

所述第一轴的内侧端安装有第一挡板，所述第二轴的内侧端安装有第二挡板，所述第一挡板和所述第二挡板用于共同实现对所述观察板的遮挡。

优选的是，所述第一挡板及所述第二挡板分别为半圆形挡板。

优选的是，所述第一轴的外侧端设置有第一操作手柄，用于旋转所述第一轴；和/或，所述第二轴的外侧端设置有第二操作手柄，用于旋转所述第二轴。

优选的是，所述观察板包括叠置的主板和防附着板，其中，所述防附着板朝向所述真空容器的内侧。

技术效果

根据本实用新型的上述成膜装置，即使用较大的力矩拧合支承部件也不容易造成观察窗破损。

附图说明

图1为现有技术的成膜装置中的观察窗的侧视图；

图2为本实用新型的观察窗的剖视示意图；

图3为图2的B部位的放大示意图；

图4为图2的C部位的放大示意图。

附图标记说明

1 观察窗

11 观察板

111 主板

112 防附着板

12 轴承

121 凸缘部

121a 环形凹槽

121b 第一密封件

122 轴部

122a 台阶部

122b 退刀槽

123 第一螺纹

124 第一中空部

13 挡板操作轴

131 第一轴

131a 第二中空部

131’ 第一操作手柄

132 第二轴

132’ 第二操作手柄

14 支承部件

15 垫圈

16 第一挡板

17 第二挡板

具体实施方式

以下，基于附图而例示性地详细说明用于实施本实用新型的方式。但是，该实施例记载的结构部件的尺寸、材质、形状、其相对配置等只要没有特别特定的记载，就不意味着将本发明的范围仅限定于此。

在该实施例中，以蒸镀装置为例来说明成膜装置。蒸镀装置具备：通过真空泵使内部成为真空的真空容器；在真空容器的内部配置的蒸发源。蒸发源通过对向基板蒸镀的材料进行加热而使该材料蒸发或升华。通过该蒸发源而蒸发或升华了的物质附着于在真空容器的内部设置的基板上，由此在基板上形成薄膜。

图2示出本实用新型的观察窗1的剖视示意图。本实用新型的观察窗1被设置在蒸镀装置的壁面上。由图2所示可知，观察窗1具有观察板11，观察板11例如由玻璃等透明材料形成。观察板11包括叠置的主板111和防附着板112，防附着板112朝向真空容器的内侧。主板111的厚度大于防附着板112的厚度，其所用材料的强度也大于防附着板112的强度。从成本上来说，主板111要高于防附着板112。当在真空容器中进行多次蒸镀作业而在防附着板112上附着有蒸镀材料时，观察窗的透视效果会变差。该情况下，仅需要更换成本低廉的防附着板112即可。

在观察板11设有用于供轴承12插通用的孔。轴承12具有凸缘部121和与凸缘部121相连的轴部122。轴部122穿过观察板11，并设有第一螺纹123。轴承12具有沿轴向设置的第一中空部124，用于供挡板操作轴13穿过。该挡板操作轴13对应于本实用新型的操作轴。

需要说明的是，在此处，凸缘部121和与凸缘部121相连的轴部122一体地构成轴承12，但也可以是分别形成的独立部件。

在上述轴部122的第一螺纹123处拧合有支承部件14，从而将观察板11夹持在凸缘部121和支承部件14之间。需要说明的是，本实用新型的支承部件14例如为螺母。

如图2以及图3所示，在轴部122设有台阶部122a，该台阶部122a位于第一螺纹123与凸缘部121之间，并且台阶部122a到凸缘部121的轴向距离大于等于观察板11的厚度。在向第一螺纹123拧合支承部件14的情况下，当支承部件14的头部抵接到台阶部122a时，支承部件14无法再继续向防附着板112接近，即能够在轴向上对支承部件14进行限位，从而能够防止支承部件14的头部直接抵接于防附着板112而造成防附着板112的边缘破损。

另外，在支承部件14与观察板11之间也可以设置弹性或韧性的垫圈15。通过设置该垫圈15，能够进一步避免支承部件14的头部直接抵接于防附着板112并对防附着板112施加应力而造成防附着板112边缘破损的情况。由图2以及图3所示可知，在第一螺纹123与台阶部122a之间设置有退刀槽122b。由于该退刀槽122b的存在，能够容易加工第一螺纹123。

由图2以及图4所示可知，在凸缘部121的朝向观察板11的一侧设有环形凹槽121a，用于容纳第一密封件121b。在本实用新型中，第一密封件121b为O型环，用于防止空气、水分或尘埃等从环形凹槽121a处进入真空容器中。环形凹槽121a的径向内侧壁的直径与轴部122的最大外径相同，即环形凹槽121a的径向内侧壁与轴部122的外侧壁平齐。但本实用新型不限定于此，只要环形凹槽121a的径向内侧壁不突出于轴部122即可。

通过上述结构，当将支承部件14向第一螺纹123拧合时，凸缘部121的环形凹槽121a的径向内侧壁不会在上下方向上压接于主板111，不会给主板111施加应力，从而能够避免主板111的边缘发生破损的情况。

在图2所示的实施例中，在支承部件14拧合于第一螺纹123的情况下，上述O形环处于被压状态，其上下方向(平行于轴承12的轴向)上的尺寸大于环形凹槽121a的深度。根据该结构，凸缘部121的径向外侧壁的下表面不会压接于主板111，不会给主板111施加应力，从而能够进一步避免主板111的发生破损的情况。

如图2所示，挡板操作轴13包括第一轴131和第二轴132。其中，第一轴131可旋转地穿过轴承12的第一中空部124并突出于轴承12的内侧端。在本实用新型中，所谓“内侧端”指的是真空容器内部侧的一端。第一轴131具有沿轴向设置的第二中空部131a，第二轴132可旋转地穿过第二中空部131a并突出于第一轴131的内侧端。

第一轴131的内侧端安装有第一挡板16，第二轴132的内侧端安装有第二挡板17。在本实用新型的该实施例中，第一挡板16及第二挡板17分别为半圆形挡板。

在第一轴131的外侧端设置有第一操作手柄131’，第二轴132的外侧端设置有第二操作手柄132’。

当操作人员旋转操作第一操作手柄131’时，第一轴131随之旋转，安装于第一轴131的内侧端的第一挡板16也能够进行旋转。同样地，当操作人员旋转操作第二操作手柄132’时，第二轴132随之旋转，安装于第二轴132的内侧端的第二挡板17也能够进行旋转。

当蒸镀装置进行蒸镀作业时，为了防止蒸镀材料附着到观察板11上，操作人员可通过旋转操作第一操作手柄131’以及第二操作手柄132’，使分别为半圆形的第一挡板16及第二挡板17形成一个完整的圆形来遮挡观察板。当需要透过观察窗11观察蒸镀装置的真空容器内的情况时，操作人员旋转操作第一操作手柄131’或第二操作手柄132’或同时操作该两个操作手柄，使第一挡板16和第二挡板17叠合，露出的观察窗11的部位即可以用于观察真空容器的内部情况。

在上述实施例中，第一轴131和第二轴132都可以旋转，但本实用新型不限定于此，也可以只有一个轴旋转而另一个轴保持固定。即，使第一挡板16和第二挡板17中的一个挡板可以旋转，另一个挡板保持固定不动。但从能够观察的真空容器内范围的大小程度来看，两个轴都能够旋转情况下的观察范围更大，因此是优选的。

另外，在上述实施例中，挡板操作轴13包括第一轴131和第二轴132。但本实用新型不限定于此，例如，挡板操作轴13也可以仅具有一个轴，该挡板操作轴13穿过轴部122，具体而言，穿过第一中空部124，并且挡板操作轴13的内侧端突出于轴部122的内侧端。在挡板操作轴13的内侧端安装多个挡板叶片，其中一个挡板叶片可随挡板操作轴13的旋转而旋转，其他挡板叶片可随该旋转挡板叶片的旋转而旋转。当旋转挡板操作轴13时，上述一个旋转挡板叶片带动其他挡板叶片依次旋转并叠合在一起，从而能够透过观察窗11观察真空容器的内部。

需要说明的是，在上述的本实用新型中以蒸镀装置为例进行了说明，但本实用新型也可以是溅射装置等成膜装置。

应当理解，上述的实施方式仅是示例性的，而非限制性的，在不偏离本实用新型的基本原理的情况下，本领域的技术人员可以针对上述细节做出的各种明显的或等同的修改或替换，都将包含于本实用新型的权利要求范围内。