一种表面具有纳米孔结构的光刻胶及其制备方法与流程技术资料下载

技术编号:18702363

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本发明涉及表面纳米结构制备技术领域,涉及一种光刻胶及表面具有纳米孔结构的光刻胶的制备方法、有机薄膜材料及其制备方法,尤其涉及一种表面具有大面积高密度随机分布的纳米孔结构的光刻胶及其制备方法、表面具有大面积高密度随机分布的纳米孔结构的有机薄膜材料及其制备方法。背景技术表面纳米孔结构作为一种重要的亚波长表面纳米结构,在电子、光电子、磁存储、半导体和生物传感等领域已经得到了非常广泛的应用。随着科技的发展进步和下游应用的拓宽,对于表面纳米孔结构的要求也日益提高,朝着大面积、小尺度、低成本和高效率的方向发...
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