技术编号:1871104
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于陶瓷复合薄膜的制备领域,特别涉及一种。背景技术微机电系统(MEMS)是指集微型结构的传感器、微型执行器和信号处理与控制电路于一体,形成同时具有信息获取、处理和执行功能的智能微型器件或微型系统。整个系统的加工尺寸为微米数量级,制造材料多选用单晶或多晶硅。微型机械具有体积小、质量轻、能耗低、集成度高和智能化程度高等特点,在生物医学、航空航天、军事和工农业各方面具有广阔的应用前景,并受到世界各国科学界、产业界以及政府部门的高度重视。近年来,有关 复合陶...
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