技术编号:18753741
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种探针卡自动清针方法及其系统,尤指一种能够自动清除探针的沾黏物的方法及其系统。背景技术集成电路、薄膜晶体管基板(TFT基板)、液晶显示面板、液晶显示用基板于其制程中需要进行电气检查,以确认电路是否为电性是否正常。现有的电气检查利用探针卡的探针接触集成电路、薄膜晶体管基板(TFT基板)、液晶显示面板、液晶显示用基板所欲测试位置的电性是否正常或有问题,其为业界通称的电气检查。电气检查是通过探针接触待测物后再进行电性检测,但是,探针卡的探针经过一段时间使用后,可能会因为静电吸附异物或异物沾黏,而导致...
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