技术编号:1886881
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型提供了一种泵吸除晶箱,包括相互紧邻设置的锥形主腔室及倒锥形次腔室,主腔室与次腔室相邻接的侧壁上设置有使主腔室及次腔室相互连通与否的主电磁阀,主腔室的上方设置有进气口,主腔室的下方设置有加热装置,次腔室的上方设置有出气口,次腔室的底端设置有使次腔室与外围泵相互连接与否的次电磁阀。本实用新型的泵吸除晶箱,不仅能够改变气体流向,提高保护气体中钨粉的含量,还能够减少饱和蒸汽的产生,降低结晶膜的形成,进而提高维修成功率。专利说明栗吸除晶箱[0001]本实用...
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