泵吸除晶箱的制作方法

泵吸除晶箱的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供了一种泵吸除晶箱，包括相互紧邻设置的锥形主腔室及倒锥形次腔室，主腔室与次腔室相邻接的侧壁上设置有使主腔室及次腔室相互连通与否的主电磁阀，主腔室的上方设置有进气口，主腔室的下方设置有加热装置，次腔室的上方设置有出气口，次腔室的底端设置有使次腔室与外围泵相互连接与否的次电磁阀。本实用新型的泵吸除晶箱，不仅能够改变气体流向，提高保护气体中钨粉的含量，还能够减少饱和蒸汽的产生，降低结晶膜的形成，进而提高维修成功率。
【专利说明】栗吸除晶箱
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种除晶箱，尤其涉及一种泵吸除晶箱。
【背景技术】
[0002]现有除晶箱的钨粉腔体是由加热装置、圆筒形箱体、O形密封圈、管路、出气孔、进气孔、热感应器元件等构成，通过加热装置的加热使得钨粉升华为气体，经由气体管路送至气窗，进而使钨粉沉积到需要维修的玻璃表面。
[0003]在现有除晶箱的圆筒形钨粉腔体中，由于吹起方式流向性较单一，对于某点气流量较大且集中，容易产生粉尘附着到出气孔进而堵塞出气孔的问题，出气孔长时间堆积会降低氩气(自入气口进入的保护气体)中钨粉的含量，降低维修成功率。
[0004]此外，在除晶箱暂停工作时，现有的钨粉腔体仍在持续的加温，容易产生饱和蒸汽，由于饱和蒸汽下容易结晶的缘故，钨粉腔体内部的钨粉表面会形成一层结晶膜附着在其上，长时间的气体的单一流向会使吹气较弱或无吹气的地方的结晶膜越来越厚，这部分的钨粉会因为结晶膜而不被使用，造成钨粉的大量浪费，而在氩气中含量的减少也会对维修成功率造成一定的影响。
实用新型内容
[0005]有鉴于此，本实用新型的主要目的在于提供一种泵吸除晶箱，不仅能够改变气体流向，提高保护气体中钨粉的含量，还能够减少保护蒸汽的产生，降低结晶膜的形成，进而提高了维修成功率。
[0006]为达到上述目的，本实用新型提供了一种泵吸除晶箱，包括:相互紧邻设置的锥形主腔室及倒锥形次腔室，所述主腔室与所述次腔室相邻接的侧壁上设置有使所述主腔室及所述次腔室相互连通或不连通的主电磁阀；所述主腔室的上方设置有进气口，所述主腔室的下方设置有加热装置，所述次腔室的上方设置有出气口，所述次腔室的底端设置有使所述次腔室与外围泵相互连接或不连接的次电磁阀。
[0007]优选地，所述主腔室的内部设置有可移动的平台。
[0008]优选地，所述主腔室的所述内表面上设置有滑轨，所述平台上设置有与所述滑轨相配合的滑块。
[0009]优选地，所述主腔室上设置有用于使所述平台停止移动的卡块；和/或
[0010]所述主腔室上设置有用于提示所述平台已停止移动的传感器。
[0011]优选地，所述除晶箱还包括控制所述平台移动的驱动机构，所述驱动机构包括用于提供动力的驱动器及用于控制所述驱动器启停的控制器，所述平台、所述驱动器及所述控制器相互连接。
[0012]优选地，所述平台的外周边缘的尺寸小于所述主腔室与在所述平台停止向上移动时的位置相对应的内周边缘处的尺寸。
[0013]优选地，所述除晶箱还包括控制所述平台移动的驱动机构，所述驱动机构为气动式，所述主腔室的下端设置有供压缩空气进入的压缩空气入口，
[0014]所述平台将所述主腔室的内部空间分隔为两部分，所述主腔室位于所述平台下方的空间为密闭空间。
[0015]优选地，所述平台的外周边缘的尺寸小于或者等于所述主腔室与在所述平台移动过程中的任一位置相对应的内周边缘的尺寸。
[0016]优选地，所述平台由弹性材料或柔性材料制成。
[0017]优选地，所述主腔室的数量为两个，所述两个主腔室均与所述次腔室紧邻设置，所述两个主腔室与所述次腔室相邻接的侧壁上均设置有使所述主腔室及所述次腔室相互连通或不连通的主电磁阀。
[0018]与现有技术相比，本实用新型的泵吸除晶箱采用圆锥式的腔室和泵吸除晶方式，利用锥形气流全面均匀覆盖钨粉，从而提高钨粉原材的利用率；另外，利用主腔室和次腔室的温度差，将使用过程中产生的结晶颗粒定向形成在次腔室，避免了结晶颗粒形成在主腔室中进而覆盖钨粉所造成的利用率不充分；并且，对次腔室形成的结晶颗粒使用泵吸方式抽走，能减少保护蒸汽的产生，降低结晶颗粒对出口的堵塞，进而提高维修成功率。
【专利附图】

【附图说明】
[0019]图1为本实用新型的泵吸除晶箱的结构示意图；
[0020]图2为本实用新型的泵吸除晶箱的使用状态示意图；
[0021]图3为本实用新 型的泵吸除晶箱的另一使用状态示意图；
[0022]图4为本实用新型的泵吸除晶箱的平台的使用状态示意图；
[0023]图5为本实用新型的泵吸除晶箱的平台的另一使用状态示意图。
[0024]附图标记说明:
[0025]1、进气口2、传感器
[0026]3、主电磁阀4、平台
[0027]5、钨粉6、压缩空气入口
[0028]7、次电磁阀8、外围泵
[0029]9、出气口A、B主腔室
[0030]C、次腔室
【具体实施方式】
[0031]有关本实用新型的技术内容及详细说明，现结合【专利附图】

【附图说明】如下。
[0032]如图1所示，本实用新型的泵吸除晶箱包括:相互紧邻设置的锥形主腔室A及倒锥形次腔室C，主腔室A与次腔室C相邻接的侧壁上设置有使主腔室A及次腔室C相互连通或不连通的主电磁阀3，主腔室A的上方设置有进气口 I，次腔室C的上方设置有出气口 9，主腔室A的下方设置有加热装置，次腔室C的底端设置有使所述次腔室C与外围泵8相互连接或不连接的次电磁阀7。
[0033]本实用新型的泵吸除晶箱在使用时，主腔室A的填充有钨粉5，通过主电磁阀3使主腔室A和次腔室C之间相互连通，主腔室A的进气口 I中通入保护气体例如可为氩气，保护气体沿主腔室A的内壁和中心气流方向全面均匀地吹到钨粉5表面，由于气流的分散，会使现有设计中气流较弱或无气流的地方形成一定的气流量，增大了钨粉5表面气流的覆盖面积，不仅提高保护气体中钨粉的含量达到提高钨粉利用率的目的，还能够克服现有技术中由于圆筒形箱体中气流方向的单一性而造成的堵塞出气孔的问题；随后，钨粉5随同保护气体进入次腔室C，再由次腔室C的出气口 9导出到进行作业的沉积装置中。此外，由于主腔室A和次腔室C的温度差，会将使用过程中产生的结晶颗粒定向形成在次腔室C，避免了结晶颗粒形成在主腔室A中进而覆盖钨粉所造成的利用率不充分。
[0034]再者，次腔室C作为储藏容器，用于使主腔室A中形成的带有钨粉5的气流被导入次腔室C中，由于具有加热装置的主腔室A的温度高于次腔室C的温度，使得生产过程中产生的结晶颗粒定向形成在次腔室C中，避免了在主腔室A中的钨粉5的表面产生结晶膜，进一步提闻了鹤粉的利用率。
[0035]当需要清理次腔室C中的结晶时，主腔室A (以及主腔室B)停止工作，关闭主电磁阀3，打开次电磁阀7，用外围泵8抽取残留在次腔室C的内壁上的结晶，能够减少保护蒸汽的产生，降低结晶颗粒对出口的堵塞，进而提高维修成功率。
[0036]此外，本实用新型的泵吸除晶箱中的主腔室A及次腔室C的数量并不进行限定，如图1所示，主腔室的数量为两个:主腔室A及主腔室B，而次腔室C为一个。同样地，主腔室A、B均与次腔室C紧邻设置，主腔室A、B与次腔室C相邻接的侧壁上均设置有使主腔室A、B及次腔室C相互连通或不连通的主电磁阀3。事实上，根据使用的需要，还可以设置更多数量的主腔室及次腔室，只要各个腔室为锥形结构并且能够相互连通即可。并且，不同数量的主腔室或次腔室的结构基本相同，相互之间的连接可以参照上述结构进行设置，或进行本领域技术人员能够理解的改进。此外，在工作时，主腔室A和主腔室B可轮流使用，以节省时间、提闻效率。
[0037]优选地，为了使钨粉5充分被气流带到次腔室C中，可以在主腔室A的内部设置有用于承载钨粉5的可移动的平台4，通过平台4的移动，即使在钨粉5的量很少时，也能保证少量的钨粉5能够顺利地被气流带走，而不会在主腔室A的内部底端积存。
[0038]进一步地，平台4可以通过移动机构设置在主腔室A的内部。所述移动机构可以包括设置在主腔室A的内表面上的滑轨以及设置在平台4上的滑块，所述滑块与滑轨相互配合，实现了平台4沿着主腔室A的内表面的滑动。
[0039]此外，平台4在滑轨上移动的停止，可以通过设定滑轨的长度来实现，也可以在设定的最高点(低于主电磁阀3的位置)处设定卡块，当滑动至与卡块抵接时，平台4停止滑动。
[0040]此外，主腔室A上还设置有传感器2，用于向外部设备发出平台4已停止移动的信号，此时，可以对钨粉5进行更换或者补充。这样，可以使主腔室A内的钨粉5的得到最大利用。
[0041]进一步地，该除晶箱还包括与移动机构(或平台4)相连接的用于控制平台4移动的驱动机构，在驱动机构的作用下，所述移动机构能够进行移动。
[0042]其中，所述驱动机构可以包括与所述移动机构(或平台4)相互连接的控制器及驱动器，所述驱动器用于为移动机构的动作提供动力，而所述控制器用于控制所述驱动器的启停。所述控制器及所述驱动器可以设置在主腔室A的外部，也可以设置在主腔室A的内部。[0043]此外，所述控制器及所述驱动器均为市售成熟产品，其结构以及与移动机构的连接方式均为现有技术，在此不再赘述。在实际使用时，可以根据钨粉5和气流的参数，所述控制器设置所述移动机构的移动时间和/或移动速度等。
[0044]此外，所述驱动机构还可以为气动式，具体为通过压缩空气来提供动力，此时，平台4将主腔室A的内部空间分隔为两部分，主腔室A位于平台4下方的空间为密闭空间，压缩空气通过设置在主腔室A下端的压缩空气入口 6进入主腔室A的内部，从而为平台4提供动力。
[0045]如图2至图3所示，由于钨粉5的量随着使用会慢慢减少，钨粉5和平台4的总体重量逐渐减小，而平台4下方的压缩气体的气压保持恒定，因此，平台4会沿着轨道慢慢向上滑行。当平台4与卡块抵接时，平台4停止移动。
[0046]平台4的形状并不进行限定，具有能够承载钨粉5的上表面即可。而平台4的大小(表面积)可以根据实际情况设定，详情如下:
[0047]在一实例中，平台4的外周边缘的尺寸可以小于主腔室A与在平台4停止向上移动时的位置相对应的内周边缘处的尺寸(平台4的表面积小于主腔室A的截面面积)，则在平台4向上移动过程中，平台4通过滑块(还可以设置有例如连接件等来辅助进行)与主腔室A的内表面上的滑轨相配合，由于平台4的外周边缘与主腔室A的内周边缘存在差值，即，平台4的外表面与主腔室A的内表面之间存在有间距，该间距保证了平台4在主腔室A内的上下移动能够顺利进行；
[0048]在另一实例中，平台4的外周边缘的尺寸可以小于或者等于主腔室A与在平台4移动过程中的任一位置相对应的内周边缘的尺寸。由于主腔室A的截面面积自下而上逐渐减少，故而平台4对应的半径也作相应变化，因此，对于平台4的形状或者材料提出了要求，即，平台4可以由弹性材料、柔性材料如软质薄膜等制成，随着主腔室A的截面面积变化，平台4也相应展开或收缩。此外，在该实例的情况下，平台4还可以被设置为具有棱形结构(楔形结构)，当主腔室A的截面面积较大时，棱形结构展开，平台4近似为一平面；当主腔室A的截面面积较小时，棱形结构收缩，平台4近似为棱形面或波形面。
[0049]此外，图4至图5示出了作为软质薄膜的平台的实施例，如图4至图5所示，在未使用时，由于薄膜的伸缩性，会形成凹槽，由于中心点风速最大，将顺着内壁和中心气流吹下来的气流汇聚到一点，无饱和蒸汽不会产生结晶膜，随着钨粉5的减少，平台下表面的气压一定，平台向上运动，仍保持凹槽的存在，气体向凹槽底部汇集，同样达到钨粉高质量利用，提闻维修效果。
[0050]以上所述，仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用于限定本实用新型的保护范围。
【权利要求】
1.一种泵吸除晶箱，其特征在于，所述除晶箱包括:相互紧邻设置的锥形主腔室及倒锥形次腔室，所述主腔室与所述次腔室相邻接的侧壁上设置有使所述主腔室及所述次腔室相互连通或不连通的主电磁阀；所述主腔室的上方设置有进气口，所述主腔室的下方设置有加热装置，所述次腔室的上方设置有出气口，所述次腔室的底端设置有使所述次腔室与外围泵相互连接或不连接的次电磁阀。
2.根据权利要求1所述的泵吸除晶箱，其特征在于:所述主腔室内部设置有可移动的T D O
3.根据权利要求2所述的泵吸除晶箱，其特征在于:所述主腔室的所述内表面上设置有滑轨，所述平台上设置有与所述滑轨相配合的滑块。
4.根据权利要求2所述的泵吸除晶箱，其特征在于:所述主腔室上设置有用于使所述平台停止移动的卡块；和/或 所述主腔室上设置有用于提示所述平台已停止移动的传感器。
5.根据权利要求2所述的泵吸除晶箱，其特征在于:所述除晶箱还包括控制所述平台移动的驱动机构，所述驱动机构包括用于提供动力的驱动器及用于控制所述驱动器启停的控制器，所述平台、所述驱动器及所述控制器相互连接。
6.根据权利要求5所述的泵吸除晶箱，其特征在于:所述平台的外周边缘的尺寸小于所述主腔室与在所述平台停止向上移动时的位置相对应的内周边缘处的尺寸。
7.根据权利要求2所述的泵吸除晶箱，其特征在于:所述除晶箱还包括控制所述平台移动的驱动机构，所述驱动机构为气动式，所述主腔室的下端设置有供压缩空气进入的压缩空气入口， 所述平台将所述主腔室的内部空间分隔为两部分，所述主腔室位于所述平台下方的空间为密闭空间。
8.根据权利要求7所述的泵吸除晶箱，其特征在于:所述平台的外周边缘的尺寸小于或者等于所述主腔室与在所述平台移动过程中的任一位置相对应的内周边缘的尺寸。
9.根据权利要求8所述的泵吸除晶箱，其特征在于:所述平台由弹性材料或柔性材料制成。
10.根据权利要求1所述的泵吸除晶箱，其特征在于:所述主腔室的数量为两个，所述两个主腔室均与所述次腔室紧邻设置，所述两个主腔室与所述次腔室相邻接的侧壁上均设置有使所述主腔室及所述次腔室相互连通或不连通的主电磁阀。
【文档编号】C03C17/09GK203429064SQ201320229533
【公开日】2014年2月12日 申请日期:2013年4月28日 优先权日:2013年4月28日
【发明者】许猛, 魏广伟, 刘国全, 解威 申请人:合肥京东方光电科技有限公司, 京东方科技集团股份有限公司