技术编号:18884124
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及压电陶瓷领域,特别指一种压电陶瓷迟滞非线性的多项式拟合修正方法。背景技术压电陶瓷作为一种能将电能转换为微位移的功能型材料,具有定位精度高、带宽大、位移分辨率高、响应速度快、输出力大等优点;压电陶瓷驱动器作为微位移机构的主要驱动元件,被广泛应用于微定位平台、微电子、精密加工、生物医学、机器人和航天领域。但压电陶瓷固有的迟滞非线性、蠕变等特性,导致微位移系统输出的位移具有不确定性,直接影响了微位移系统的控制精度和稳定性。压电陶瓷的迟滞非线性是指在压电陶瓷的往返轨迹中施加相同的驱动电压,上升...
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