技术编号：18902384
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种对半导体晶圆、液晶显示装置用玻璃基板、等离子显示(plasma display)用玻璃基板、光盘用基板、磁盘用基板、光磁盘用基板、光掩膜(photo mask)用玻璃基板、太阳能电池用基板等(以下，简称为“基板”)实施处理的基板处理技术。背景技术专利文献1中示出了一种基板处理系统，其对收纳于FOUP的基板进行处理，且具备：多台基板处理装置；主计算机，其进行针对处理对象的FOUP的搬运指示；装置前缓冲区(buffer)，其配置于多台基板处理装置的上游侧；以及搬运系统，其搬运FOUP。...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。