基板处理系统、基板处理装置以及基板处理方法与流程

本发明涉及一种对半导体晶圆、液晶显示装置用玻璃基板、等离子显示(plasmadisplay)用玻璃基板、光盘用基板、磁盘用基板、光磁盘用基板、光掩膜(photomask)用玻璃基板、太阳能电池用基板等(以下，简称为“基板”)实施处理的基板处理技术。

背景技术：

专利文献1中示出了一种基板处理系统，其对收纳于foup的基板进行处理，且具备：多台基板处理装置；主计算机，其进行针对处理对象的foup的搬运指示；装置前缓冲区(buffer)，其配置于多台基板处理装置的上游侧；以及搬运系统，其搬运foup。装置前缓冲区针对按照主计算机的指示而从搬运系统接收到的foup，使多台基板处理装置进行处理的仿真(simulation)，即使多台基板处理装置制作基于配方(recipe)的foup的处理的排程(schedule)。装置前缓冲区基于模拟的结果，选择表示在哪一个基板处理装置中进行处理为最佳的最佳装置、或者表示将多个foup按照哪种顺序且在哪个基板处理装置中进行处理为最佳的最佳顺序装置。装置前缓冲区对所选择的最佳装置或最佳顺序装置指示通过搬运系统搬运的装置前缓冲区内的foup的处理。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2011-077136号公报

技术实现要素：

然而，在专利文献1的基板处理系统中存在如下问题：在装置前缓冲区将foup搬运至最佳装置等前，还接收到其他foup的情况下，其他foup所请求的处理的排程与之前请求的处理的排程发生冲突(butting)。

本发明是为了解决上述问题而提出的，其目的在于提供一种能够以不与之后制作的其他批次的排程发生冲突的方式制作用于执行未到达基板处理装置的未到达批次(lot)的基板处理的排程的技术。

用于解决课题的方案

为了解决所述课题，第1方式的基板处理系统具备：基板处理装置，其包括用于对基板进行处理的多个处理部、制作使用所述多个处理部用于执行批次的基板处理的排程的排程部；以及主计算机，其对所述基板处理装置的排程部发送批次的配方，所述主计算机将未到达所述基板处理装置的未到达批次的配方发送给所述排程部，所述排程部根据已到达所述基板处理装置的批次的排程和所述未到达批次的配方，将所述未到达批次的所述基板处理装置中的排程制作成临时排程并发送给所述主计算机，所述主计算机基于从所述排程部发送的所述临时排程来判断是否将所述未到达批次搬运至所述基板处理装置，在决定了将所述未到达批次搬运至所述基板处理装置的情况下，对所述排程部提供表示将所述未到达批次搬运至所述基板处理装置的信号，所述排程部从所述主计算机接收到所述信号时，在所述未到达批次到达所述基板处理装置前，执行将所述未到达批次的所述临时排程作为与其他批次的排程排他性的排程而在所述排程部中进行预约的预约处理。

第2方式的基板处理系统为第1方式的基板处理系统，所述排程部执行将所述未到达批次的所述临时排程作为在制作所述其他批次的所述排程时不能变更的排程而进行预约的预约处理。

第3方式的基板处理系统为第1方式的基板处理系统，排程部执行将所述未到达批次的所述临时排程作为在制作所述其他批次的排程时能够变更的排程而进行预约的预约处理。

第4方式的基板处理系统为第1方式至第3方式中任一方式的基板处理系统，所述基板处理装置的所述排程部使用进行了所述预约处理的所述未到达批次的排程，进一步制作所述其他批次的排程。

第5方式的基板处理系统为第1方式至第4方式中任一方式的基板处理系统，所述主计算机还对所述基板处理装置的所述排程部提供所述未到达批次的预定到达时刻，所述排程部基于所述已到达批次的排程、所述未到达批次的配方以及所述预定到达时刻，将所述未到达批次的所述基板处理装置中的排程制作成临时排程并发送给所述主计算机。

第6方式的基板处理系统为第5方式的基板处理系统，所述主计算机根据所述基板处理装置的处理状况来设定所述未到达批次的所述预定到达时刻。

第7方式的基板处理系统为第5或第6方式的基板处理系统，所述未到达批次是包含在前阶段的基板处理装置中进行了基板处理的基板的批次，所述主计算机基于从所述前阶段的基板处理装置至所述基板处理装置为止的批次搬运所需要的时间来设定所述未到达批次的所述预定到达时刻。

第8方式的基板处理系统为第1方式至第7方式中任一态样的基板处理系统，所述排程部基于预先设定了处理优先级的所述未到达批次、以及预先制作了排程且预先赋予了处理优先级但尚未开始处理的附带优先级的其他批次的各自的配方，以将所述附带优先级的其他批次和所述未到达批次按照与各自的处理优先级对应的顺序进行处理的方式再次制作所述附带优先级的其他批次的排程，并且将所述未到达批次的所述基板处理装置中的排程制作成临时排程。

第9方式的基板处理系统为第1方式至第8方式中任一态样的基板处理系统，所述排程部能够以比尚未开始处理的已制作排程的其他批次更早地进行所述未到达批次的处理的方式再次制作所述已制作排程的其他批次的排程，并且将所述未到达批次的所述基板处理装置中的排程制作成临时排程。

第10方式的基板处理系统为第9方式的基板处理系统，所述已制作排程的其他批次包括所述已到达但尚未开始处理的非处理中批次。

第11方式的基板处理系统为第1方式至第10方式中任一态样的基板处理系统，所述基板处理系统具备多个所述基板处理装置，所述主计算机将所述未到达批次的配方发送给所述多个基板处理装置各自的所述排程部，所述多个基板处理装置各自的所述排程部基于所述已到达批次的排程和所述未到达批次的配方，制作所述未到达批次的所述临时排程并发送给所述主计算机，所述主计算机基于从所述多个基板处理装置的每一个接收到的所述未到达批次的所述临时排程，将所述多个基板处理装置中的一个基板处理装置选择为搬运所述未到达批次的基板处理装置。

第12方式的基板处理装置包括：包括：用于对基板进行处理的多个处理部、以及制作使用所述多个处理部用于执行批次的基板处理的排程的排程部，所述排程部具备：批次信息接收部，其从外部的主计算机接收未到达所述基板处理装置的未到达批次的配方；临时排程制作部，其基于预先对已到达所述基板处理装置的批次设定的排程以及所述未到达批次的所述配方，将所述未到达批次的所述基板处理装置中的排程制作成临时排程；临时排程供给部，其将所述临时排程制作部取得的所述未到达批次的所述临时排程提供给所述主计算机；信号接收部，其从所述主计算机接收表示将所述未到达批次搬运至所述基板处理装置的信号；以及预约处理部，其在所述信号接收部接收到所述信号的情况下，在所述未到达批次到达所述基板处理装置前，执行将所述未到达批次的排程作为与其他批次的排程排他性的排程而在所述排程部中进行预约的预约处理。

第13方式的基板处理方法具备制作用于执行批次的基板处理的排程的排程步骤，在所述排程步骤中，基于已到达基板处理装置的批次的排程和未到达所述基板处理装置的未到达批次的配方，将所述未到达批次的所述基板处理装置中的排程制作成临时排程，所述基板处理方法还具备：决定步骤，基于所述临时排程来决定是否将所述未到达批次搬运至所述基板处理装置，所述排程步骤为如下步骤：在所述决定步骤中决定了将所述未到达批次搬运至所述基板处理装置的情况下，在所述未到达批次到达所述基板处理装置前，执行将所述未到达批次的所述临时排程作为与其他批次的排程排他性的排程而进行预约的预约处理。

第14方式的基板处理方法为第13方式的基板处理方法，所述排程步骤为执行将所述未到达批次的所述临时排程作为在制作所述其他批次的排程时不能变更的排程而进行预约的预约处理的步骤。

第15方式的基板处理方法为第13方式的基板处理方法，所述排程步骤为执行将所述未到达批次的所述临时排程作为在制作所述其他批次的排程时能够变更的排程而进行预约的预约处理的步骤。

第16方式的基板处理方法为第13至第15方式中任一方式的基板处理方法，所述排程步骤为使用进行了所述预约处理的所述未到达批次的排程，进一步制作所述其他批次的排程的步骤。

第17方式的基板处理方法为第13至第15方式中任一方式的基板处理方法，所述基板处理方法还具备：时刻设定步骤，设定向所述基板处理装置的所述未到达批次的预定到达时刻，所述排程步骤为基于所述已到达批次的排程、所述未到达批次的配方以及所述预定到达时刻，将所述未到达批次的所述基板处理装置中的排程制作成临时排程的步骤。

第18方式的基板处理方法为第17方式的基板处理方法，所述时刻设定步骤为根据所述基板处理装置的处理状况设定所述未到达批次的所述预定到达时刻的步骤。

第19方式的基板处理方法为第17或第18方式的基板处理方法，所述未到达批次是包含在前阶段的基板处理装置中进行了基板处理的基板的批次，所述时刻设定步骤是基于从所述前阶段的基板处理装置至所述基板处理装置为止的批次搬运所需要的时间来设定所述未到达批次的所述预定到达时刻的步骤。

第20方式的基板处理方法为第13至第19方式中任一方式的基板处理方法，所述排程步骤为如下步骤：基于预先设定了处理优先级的所述未到达批次、以及预先制作了排程且预先赋予了处理优先级但尚未开始处理的附带优先级的其他批次的各自的配方，以将所述附带优先级的其他批次和所述未到达批次按照与各自的处理优先级对应的顺序进行处理的方式再次制作所述附带优先级的其他批次的排程，并且将所述未到达批次的所述基板处理装置中的排程制作成临时排程。

第21方式的基板处理方法为第13至第20方式中任一方式的基板处理方法，所述排程步骤为如下步骤：能够以比尚未开始处理的已制作排程的其他批次更早地进行所述未到达批次的处理的方式再次制作所述已制作排程的其他批次的排程，并且将所述未到达批次的所述基板处理装置中的排程制作成临时排程。

第22方式的基板处理方法为第21方式的基板处理方法，所述已制作排程的其他批次包括所述已到达但尚未开始处理的非处理中批次。

第23方式的基板处理方法为第13第22方式中任一方式的基板处理方法，对于多个所述基板处理装置的每一个，具备所述排程步骤，对于所述多个基板处理装置的每一个，所述排程步骤是基于所述已到达批次的排程和所述未到达批次的配方制作所述未到达批次的所述临时排程的步骤，所述基板处理方法还具备：选择步骤，基于与所述多个基板处理装置的每一个对应的所述未到达批次的所述临时排程，将所述多个基板处理装置中的一个基板处理装置选择为搬运所述未到达批次的基板处理装置。

发明效果

根据第1方式的发明，主计算机基于从排程部发送的临时排程来判断是否将未到达批次搬运至基板处理装置，在决定了将未到达批次搬运至基板处理装置的情况下，对排程部提供表示将未到达批次搬运至基板处理装置的信号，排程部从主计算机接收到信号时，在未到达批次到达基板处理装置前，执行将未到达批次的临时排程作为与其他批次的排程排他性的排程而在排程部中进行预约的预约处理。因此，可将用于执行未到达批次的基板处理的排程制作成不与之后制作的其他批次的排程发生冲突。

根据第2方式的发明，排程部可将未到达批次的临时排程预约为与其他批次的排程为排他性、且在制作其他批次的排程时不能变更的排程。

根据第3方式的发明，排程部可将未到达批次的临时排程预约为与其他批次的排程为排他性、且在制作其他批次的排程时能够变更的排程。

根据第4方式的发明，基板处理装置的排程部可使用进行了预约处理的未到达批次的排程来实际制作其他批次的排程。

根据第5方式的发明，排程部可基于已到达批次的排程、未到达批次的配方以及从主计算机提供的未到达批次的预定到达时刻，将未到达批次的基板处理装置中的排程制作成临时排程。因此，可制作可靠性高的临时排程。

根据第6方式样的发明，由于未到达批次的预定到达时刻是根据基板处理装置的处理状况而设定的，因此可制作可靠性更高的临时排程。

根据第8方式的发明，排程部以将附带优先级的其他批次与未到达批次按照与各自的处理的优先级对应的顺序进行处理的方式再次制作附带优先级的其他批次的排程，并且将未到达批次的基板处理装置中的排程制作成临时排程。因此，可制作反映出处理的优先级的临时排程。

根据第9方式的发明，排程部能够以比尚未开始处理的已制作排程的其他批次更早地进行未到达批次的处理的方式再次制作已制作排程的其他批次的排程，并且将未到达批次的基板处理装置中的排程制作成临时排程。因此，例如即便因发生液体更换而推迟已制作排程的其他批次的处理的情况等需要不拘于优先级而变更批次间的处理顺序的情况下，也能够对未到达批次制作比已制作排程的其他批次更早地进行处理的临时排程。

根据第10方式的发明，已制作排程的其他批次包括已到达且未开始处理的非处理中批次。因此，能够以更高的自由度进行批次间的处理顺序的变更。

根据第11方式的发明，基板处理系统具备多个基板处理装置，且主计算机基于从多个基板处理装置的每一个所接收到的未到达批次的临时排程而在多个基板处理装置中选择一个基板处理装置作为搬运未到达批次的基板处理装置。因此，可从多个基板处理装置中选择最适于未到达批次的处理的装置，因此提高作为基板处理系统整体而言的处理量(throughput)。

根据第12方式的发明，在所述基板处理装置的信号接收部从主计算机接收到表示将未到达批次搬运至基板处理装置的信号的情况下，预约处理部在未到达批次到达基板处理装置前，执行将未到达批次的排程作为与其他批次的排程排他性的排程而在排程部中进行预约的预约处理。因此，以不与之后制作的其他批次的排程发生冲突的方式制作用于执行未到达批次的基板处理的排程。

根据第13方式的发明，决定步骤为基于在排程步骤中所制作的临时排程来决定是否将未到达批次搬运至基板处理装置的步骤，在决定步骤中决定了将未到达批次搬运至基板处理装置的情况下，在排程步骤中，在未到达批次到达基板处理装置前，执行将未到达批次的临时排程作为与其他批次的排程排他性的排程而进行预约的预约处理。因此，以不与之后所制作的其他批次的排程发生冲突的方式制作用于执行未到达批次的基板处理的排程。

附图说明

图1是表示实施方式的基板处理系统的构成例的框图。

图2是表示图1的基板处理装置的构成例的平面示意图。

图3是表示图1的基板处理系统中的处理流程的示意图。

图4是表示图1的主计算机的动作的一例的流程图。

图5是表示图1的基板处理装置的动作的一例的流程图。

图6是表示临时排程制作过程的一例的时序图。

图7是表示临时排程制作过程的一例的时序图。

具体实施方式

以下，参照附图对实施方式的基板处理装置100进行说明。以下的实施方式为将本发明具体化的一例，并非是对本发明的技术范围进行限定的事例。另外，为了便于理解，在以下参照的各图中，有时夸张或简化地图示各部的尺寸、数量。另外，各图中对具有同样构成及功能的部分标注相同符号，并在下述说明中省略重复说明。

<1.基板处理系统300>

图1是表示实施方式的基板处理系统300的构成例的框图。

本实施例的基板处理系统300中，通常将收纳有多个基板9的载体(carrier)c在多个基板处理装置之间进行搬运。基板处理系统300具有：主计算机(hostcomputer)3；载体搬运用的干线轨r1；多个装置插架(bay)201、202；仓储系统(stocker)5。在干线轨r1上以能够滑动的方式连结有oht(overheadtransfer)6，该oht6沿着干线轨r1在多个装置插架201、202之间搬运载体c。在各装置插架201、202上设置有支线r11、r21。支线r11、r21为在各装置插架201、202的内部进行环绕的轨道，并经由引入线r12、r22与干线轨r1连接。oht6通过引入线r12移动至第1装置插架201内部的支线r11，并与设置于第1装置插架201上的多个基板处理装置100(后述)之间进行载体c的交付。同样地，oht6通过引入线r22移动至第2装置插架202内部的支线r21，并与设置于第2装置插架202上的多个基板处理装置100(后述)之间进行载体c的交付。

仓储系统5配置于第1装置插架201以及第2装置插架202的外部。仓储系统5为存储多个载体c的装置，并与oht6之间进行载体c的交付。

第1装置插架201具备多个基板处理装置100(图1的例子中，3台基板处理装置100(100a、100b、100c))。另一方面，第2装置插架202具备多个基板处理装置100(图1的例子中，3台基板处理装置100(100d、100e、100f))。

另外，以下将仓储系统5和oht6统称为搬运系统4。主计算机3、各基板处理装置100和搬运系统4例如电连接。

基板处理装置100(100a～100f)具备处理基板9的功能。基板9在收纳于载体c的状态下被搬运。通常，载体c中收纳有多个基板9。作为载体c的方式，可以是将基板9收纳于密闭空间内的foup(frontopeningunifiedpod，前开式晶圆传送盒)，也可以是smif(standardmechanicalinterface，标准机械界面)盒、或者将所收纳的基板9暴露于外部空气中的oc(opencassette，开放式卡匣)。载体c通过搬运系统4被搬入至基板处理装置100a～基板处理装置100f，并通过搬运系统4从基板处理装置100a～基板处理装置100f中被搬出。在此，将基板处理装置100a～基板处理装置100f设为执行同种基板处理(例如，基板清洗)的装置。

载体c、或者收纳于载体c中的基板群也被称为“批次(lot)”。基板处理装置100从主计算机3接收包含规定了对批次的处理内容的配方的批次信息。基板处理装置100将由搬运系统4搬运的载体c搬入至内部，并按照根据配方预先制作的排程对基板9进行处理。结束了处理的基板9再次被收纳于载体c中并被搬出。

主计算机3包含制造执行系统(mes：manufacturingexecutionsystem)以及搬运控制系统(mcs：materialcontrolsystem)。主计算机3控制搬运系统4对载体c进行的搬运动作。另外，主计算机3控制各基板处理装置100对批次进行的基板处理。

另外，主计算机3将预定被搬运至多个基板处理装置100(100a～100f)中的任一个装置但尚未被搬运至任一个基板处理装置100的批次(也被称为“临时批次”、“未到达批次”)的临时批次信息(也被称为“未到达批次信息”)k1发送至各基板处理装置100a～基板处理装置100f的排程部15。临时批次信息k1包含用于确定临时批次的id、规定了临时批次的处理内容的配方、以及临时批次的处理的优先级等(参照图3)。主计算机3也可以根据各基板处理装置100的处理状况来设定临时批次的预定到达时刻。因此，主计算机3可以对各基板处理装置100赋予不同的预定到达时刻。

各基板处理装置100a～基板处理装置100f的排程部15在从主计算机3接收到临时批次信息k1的情况下，基于临时批次信息k1来制作用于处理临时批次的临时排程。临时排程例如包含临时批次的处理的预定结束时刻和预定开始时刻。所谓预定开始时刻是能够将与临时批次对应的载体c载置于基板处理装置100的第1载体台(carrierstage)111(参照图2)上的时刻、或者能够从第2载体台153(参照图2)上的载体c中开始搬出第1片基板9的时刻。预定结束时刻是属于临时批次的全部基板通过基板处理装置100被进行基板处理并被搬出到第2载体台153上的载体c而结束的时刻、或者能够将收纳有属于临时批次的全部基板9的载体c从第1载体台111除去的时刻。各基板处理装置100a～基板处理装置100f将制作出的临时排程发送至主计算机3。

主计算机3基于从多个基板处理装置100的每一个接收到的临时批次(未到达批次)的临时排程，将多个基板处理装置100中的一个基板处理装置100选择为搬运临时批次的基板处理装置100。具体而言，主计算机3例如基于从各基板处理装置100供给的各临时排程，来选择临时批次的预定开始时刻或预定结束时刻最早的基板处理装置100。即，主计算机3基于从排程部15发送的临时排程来判断是否将未到达批次搬运至基板处理装置100，并决定搬运未到达批次的基板处理装置100。主计算机3对决定为临时批次的搬运目的地的基板处理装置100的排程部15供给表示将未到达批次搬运至基板处理装置100的信号(也被称为“预告信号”、“通知信号”)。

搬运系统4根据主计算机3的指示，将载体c搬运至各部。如上所述，搬运系统4具备仓储系统5和oht6。

第1装置插架201与第2装置插架202基本为同一构成，因此，以下仅对第1装置插架201进行说明，对第2装置插架202省略说明。

oht6从执行各基板处理装置100中的基板处理的前阶段的基板处理(例如，成膜处理、蚀刻处理、杂质添加处理、cmp(chemicalmechanicalpolishing)等)的基板处理装置(未图标)收到载体c并根据需要将其载置于仓储系统5。仓储系统5暂时保管所载置的载体c。oht6也可以从前阶段的基板处理装置直接将载体c搬运至第1装置插架201内的基板处理装置100而不载置于仓储系统5。

各基板处理装置100从由oht6收到的载体c中取出基板，并执行将在前阶段附着于基板上的各种颗粒从基板去除等的清洗处理。从前阶段的基板处理装置至各基板处理装置100为止的载体c的搬运距离并不相同。因此，将载体c从前阶段的基板处理装置搬运至各基板处理装置100为止的载体搬运时间在各基板处理装置100中不同。主计算机3基于载体搬运时间的长短，可将未到达批次的预定到达时刻在各基板处理装置100中设定为不同的值。主计算机3也可以基于从前阶段的基板处理装置至各基板处理装置100为止的载体c的搬运所需要的时间、即作为收纳于载体c中的未处理的基板群的未到达批次的搬运所需要的时间来设定未到达批次的预定到达时刻。另外，基板处理装置100的前阶段的基板处理装置也可以与基板处理装置100配置于同一装置插架201、202中。

仓储系统5在与oht6之间进行载体c的交付。仓储系统5在内部暂时保持载体c，并调整在oht6与基板处理装置100之间能够接受载体c的时间差。

<2.基板处理装置100>

参照图2对实施方式的基板处理装置100的构成进行说明。图2是表示基板处理装置的构成例的平面示意图。

基板处理装置100是对半导体晶圆等多片基板9进行处理的系统。基板9的表面形状为大致圆形。基板处理装置100具备多个基板处理单元(unit)1。基板处理装置100可在各基板处理单元1中对基板9逐片连续地进行处理，并且也可以通过多个基板处理单元1对多个基板9并行地进行处理。

基板处理装置100具备并列设置的多个单元(cell)(处理块)，具体而言，具备：分度器单元(indexercell)110、处理单元120、以及对所述多个单元110、单元120所具备的各动作机构等进行控制的控制部130。

<分度器单元110>

分度器单元110是用于将从装置外接收到的未处理的基板9传递至处理单元120，并且将从处理单元120接收到的处理完毕的基板9搬出至装置外的单元。分度器单元110还具有对载体c进行缓冲的功能。分度器单元110具备：载置由oht6搬运的多个载体c的第1载体台111和内部缓冲区150。

未处理的基板9从载体c中被逐片取出并在装置内进行处理，且装置内的处理结束了的处理完毕的基板9再次被收纳于载体c中。收纳有处理完毕的基板9的载体c通过oht6被搬出至装置外部。这样，第1载体台111作为将未处理的基板9和处理完毕的基板9积累的基板积累部发挥功能。

内部缓冲区150配置于第1载体台111与处理单元120之间。内部缓冲区150具备：架部152，其包括多间收纳载体c的载体收纳室151；第2载体台153，其载置用于与处理单元120之间进行基板9的交付的载体c；载体搬运机械人(robot)154，其在第1载体台111、架部152以及第2载体台153之间搬运载体c；以及装载埠(loadport)155，其对载置于第2载体台153上的载体c的盖(未图示)进行装卸。

内部缓冲区150在无法从第1载体台111向第2载体台153搬入载体c、或者无法从第1载体台111将载体c搬出至基板处理装置100的外部的情况下，可暂时收纳载体c。即，内部缓冲区150具备载体c的缓冲功能。另外，内部缓冲区150也可以在无法从载体c向处理单元120搬出未处理基板9的情况下，使该未处理基板9在收纳于载体收纳室151的载体c中临时待机。即，内部缓冲区150还具备基板9的缓冲功能。

移载机器人ir具备：多个(例如4个)手(hand)，其通过从下方支撑基板9，而能够将基板9以水平姿势(基板9的主面为水平的姿势)进行保持；以及多个臂(arm)，其使多个手分别进行移动。移载机器人ir从载置于第2载体台153上的载体c中取出未处理的基板9，并将该取出的基板9在基板交付位置p交给搬运机器人cr(将后述)。另外，移载机器人ir在基板交付位置p从搬运机器人cr接收处理完毕的基板9，并将该接收到的基板9收纳至载置于第2载体台153上的载体c中。移载机器人ir也可以同时使用多个手进行基板9的交付。

<处理单元120>

处理单元120是用于对基板9进行处理的单元。处理单元120具备：多个基板处理单元(“处理部”)1；以及搬运机器人cr，其对所述多个基板处理单元1进行基板9的搬出搬入。搬运机器人cr和控制部130为基板搬运装置。在此，多个(例如3个)基板处理单元1沿铅垂方向层叠而构成1个基板处理装置群10。而且，多个(图示的例子中为4个)基板处理装置群10以包围搬运机器人cr的方式设置成集群(cluster)状(缨状)。因此，多个基板处理单元1分别配置于搬运机器人cr的周围。基板处理单元1一面将配置于未图标的旋转夹头(spinchuck)的上侧(铅垂方向的上侧)的基板通过旋转夹头保持为能够装卸并以预定的旋转轴a1为中心使旋转夹头旋转，一面对基板进行预定的处理(例如药液处理、冲洗处理或干燥处理等)。

搬运机器人cr为对基板9一面进行悬臂支撑一面进行搬运的机械人。搬运机器人cr从指定的基板处理单元1取出处理完毕的基板9，并将该取出的基板9在基板交付位置p交给移载机器人ir。另外，搬运机器人cr在基板交付位置p从移载机器人ir接收未处理的基板9，并将该接收到的基板9搬运至指定的基板处理单元1。搬运机器人cr与移载机器人ir同样地具备多个(例如4个)手、以及对多个手分别进行移动的多个臂。搬运机器人cr可以同时使用多个手来进行基板9的搬运。

<控制部130>

控制部130对载体搬运机器人154、装载埠155、移载机器人ir、搬运机器人cr以及一组基板处理单元1各自的动作进行控制。控制部130的作为硬件的构成可采用与一般的计算机同样的构成。即，控制部130例如是将进行各种运算处理的cpu(centralprocessingunit，中央处理单元)11、作为存储基本程序的读出专用的存储器的rom(readonlymemory，只读存储器)12、作为存储各种信息的读写自如的存储器的ram(randomaccessmemory，随机存取存储器)13以及预先存储有程序pg、数据等的磁盘14电连接于总线(busline)29而构成。总线29还与液晶面板等显示部141、输入部142以及输出部143电连接。作为输入部142、输出部143，例如采用由usb控制电路和usb连接器构成的usb接口等。

在磁盘14中，除程序pg以外还存储从主计算机3发送的临时批次信息k1等。另外，在磁盘14中还存储有已到达基板处理装置100的批次的批次信息。

在控制部130中，作为主控制部的cpu11按照程序pg所记述的顺序进行运算处理，由此实现对基板处理装置100的各部进行控制的各种功能部，并且还实现用于制作临时批次的临时排程的各功能部。

具体而言，cpu11例如也作为排程部15进行动作，所述排程部15制作用于使用多个基板处理单元1执行批次的基板处理的排程。排程部15还作为批次信息接收部16、临时排程制作部17、临时排程供给部18、信号接收部19及预约处理部20进行动作。

批次信息接收部16从外部的主计算机3经由输入部142接收未到达基板处理装置100的临时批次的配方。

临时排程制作部17基于对已到达基板处理装置100的批次预先设定的排程、临时批次(未到达批次)的配方等临时批次信息k1，将临时批次的基板处理装置100中的排程制作成临时排程。

临时排程制作部17可基于在临时批次信息k1中预先设定了处理的优先级的临时批次、预先制作了排程且预先赋予了处理的优先级并且尚未开始处理的附带优先级的其他批次各自的配方，以将该附带优先级的其他批次与临时批次按照与各自的处理的优先级对应的顺序进行处理的方式再次制作该附带优先级的其他批次的排程。此时，临时排程制作部17将临时批次的基板处理装置100中的排程制作成临时排程。

另外，例如对于对尚未开始处理的已制作排程的其他批次进行处理的基板处理单元1，在需要更换液体的情况等下，临时排程制作部17无论优先级如何，也能够以临时批次的处理比尚未开始处理的已制作排程的其他批次更早地进行的方式再次制作已制作排程的其他批次的排程，并且将临时批次的基板处理装置100中的排程制作成临时排程。另外，已制作排程的其他批次包括已到达且未开始处理的非处理中批次。

临时排程供给部18将临时排程制作部17所取得的临时批次的临时排程经由输出部143供给至主计算机3。信号接收部19从主计算机3接收表示将未到达批次搬运至基板处理装置100的信号。预约处理部20在信号接收部19接收到该信号的情况下，在临时批次到达基板处理装置100前，执行将临时批次的排程作为与其他批次的排程为排他性的排程而在排程部15中进行预约的预约处理。预约处理部20可执行将未到达批次的临时排程作为在制作其他批次的排程时无法变更的排程进行预约的预约处理，并且也可以执行将未到达批次的临时排程作为在制作其他批次的排程时能够变更的排程进行预约的预约处理。另外，排程部15可以使用进行了预约处理的未到达批次的排程进而制作其他批次的排程。

所谓排他性的排程是不存在规定该排程所规定的基板处理和在同一处理单元1中在同一定时进行的基板处理的其他排程的排程。换言之，排他性排程在同一处理单元且同一定时中是排他性的。

另外，控制部130中实现的一部分或全部功能部也可以通过专用的逻辑电路等以硬件的方式来实现。

<基板处理系统300的动作>

参照图3～图4，对实施方式的基板处理系统300的动作进行说明。图3是表示基板处理系统300中的处理流程的示意图。图4是表示主计算机的动作的一例的流程图。图5是表示基板处理装置100的动作的一例的流程图。

主计算机3通过读取设定于每批次中的批次特有信息、从前阶段的基板处理装置发送的信息，取得与临时批次有关的临时批次信息k1。临时批次信息k1也可以通过来自操作员的输入、来自外部存储装置的读出而取得(图4的步骤s10)。主计算机3将所取得的临时批次信息k1供给至各基板处理装置100(100a～100f)(图3、图4的步骤s20)。

各基板处理装置100的排程部15的批次信息接收部16经由输入部142接收主计算机3供给的临时批次信息k1(图3、图5的步骤s110)。临时排程制作部17基于临时批次信息k1来制作临时排程(图3、图5的步骤s120)，临时排程供给部18将所制作的临时排程经由输出部143供给至主计算机3(图3、图5的步骤s130)。如上所述，临时批次信息k1中包含临时批次到达各基板处理装置100的预定到达时刻。临时排程供给部18以临时批次的预定到达时刻为起点而制作基板处理装置100中的临时批次的基板处理排程。因此，即便在从前阶段的基板处理装置至各基板处理装置100的载体搬运需要长时间的情况下、从前阶段的基板处理装置至各基板处理装置100的载体搬运时间存在偏差的情况下，临时排程供给部18也可以高精度地制作临时批次的临时排程。

主计算机3在从各基板处理装置100接收到临时排程时(图3、图4的步骤s30)，基于各临时排程从各基板处理装置100中选择(决定)搬运临时批次的基板处理装置100(图3、图4的步骤s40)。主计算机3针对所选择的基板处理装置100(图3的例子中为基板处理装置100a)的排程部15，将表示搬运临时批次的信号(“预告信号”、“通知信号”)发送至排程部15，并且针对未选择的基板处理装置100(100b、100c)发送表示应将临时排程的保留解除的宗旨的解除信号(图3、图4的步骤s50)。另外，在预约信号、临时排程的保留的解除信号中附加临时批次的id。因此，在存在多个临时批次的状态下，各基板处理装置100也能够准确地进行预约处理、解除处理。

所选择的基板处理装置100(100a)的信号接收部19接收通知临时批次的搬运的预告信号(图3、图5的步骤s140)，预约处理部20在临时批次到达基板处理装置100前，执行将临时批次的排程作为与其他批次的排程排他性的排程而在排程部15中进行预约的预约处理(图3、图5的步骤s150)。此外，接收到解除信号的基板处理装置100(100b、100c)将临时排程的保留进行解除。

主计算机3在执行了图4的步骤s50的处理后，对搬运系统4进行应将临时批次搬运至作为临时批次的搬运目的地而选择(决定)的基板处理装置100(100a)的宗旨的指示(图3、图4的步骤s60)。收到指示的搬运系统4将临时批次搬运至所选择的基板处理装置100(100a)，该基板处理装置100(100a)对由搬运系统4搬运的已到达的批次进行基于配方的基板处理(图3、图5的步骤s160)。

<临时排程的制作过程>

参照图6、图7，说明由基板处理装置100进行的临时排程的制作过程。图6、图7是表示临时排程制作过程的一例的时序图。图6示出了表示3台基板处理装置(也简称为“装置”)100a～100c根据各自的基板处理的状况来制作临时排程的过程的一例的三个时序图(排程)90a～90c。图6中的各矩形表示各处理中批次、各预约批次或者各临时批次的处理的时序图。图7示出了表示与处理的三个优先级“低”“中”“高”对应的临时计划中的临时排程的制作过程的三个时序图(排程)91a～91c。处理的优先级按照“高”、“中”、“低”的顺序降低。

所谓图6、图7的处理中批次是已到达基板处理装置100(100a～100c)且已经开始了基板处理的批次。此外，所谓预约批次是在临时批次未到达基板处理装置100的状态下，预约处理部20将临时批次的临时排程作为与其他批次的排程排他性的排程而在排程部中预约了基板处理的批次。

在时序图90a中，针对两个处理中批次进行基板处理，并且存在将临时排程作为排他性的排程而预约的预约批次。基板处理装置100a的临时排程制作部17以不与预约批次在同一基板处理单元1以及同一时间进行处理的方式制作临时批次的处理排程即临时排程。临时排程包含基板处理的预定开始时刻t11和预定结束时刻t12。临时批次通过搬运系统4从前阶段的基板处理装置被搬运至基板处理装置100a并被载置于第1载体台111。之后，临时批次被收纳于架部152的载体收纳室151中(预定到达时刻t10)。为了赶上预定开始时刻t11，该临时批次通过载体搬运机器人154被搬运至第2载体台153。

在时序图90b中，以基板处理装置100b为对象设定临时批次的临时排程。在时序图90b中，一个处理中批次的处理结束后，预定进行基板处理装置100b的液体更换。因此，基板处理装置100b的临时排程以液体更换结束后开始临时批次的处理的方式设定预定开始时刻t21。在该临时排程中，也设定有临时批次的基板处理的预定结束时刻t22。在此，基板处理装置100a被配置成比基板处理装置100b更接近前阶段的基板处理装置的位置。因此，临时批次到达基板处理装置100a的预定时刻(预定到达时刻t10)比临时批次到达基板处理装置100b的预定时刻(预定到达时刻t20)早。

在时序图90c中，以基板处理装置100c为对象，在四个处理中批次正在进行处理的状态下制作临时批次的临时排程。该临时排程被设定为不与该四个处理中批次的任何一个、在同一基板处理单元1且同一定时中进行临时批次的处理。该临时排程中设定有临时批次的基板处理的预定开始时刻t31与预定结束时刻t32。在此，基板处理装置100a被配置在比基板处理装置100b和基板处理装置100c更接近前阶段的基板处理装置的位置。因此，临时批次到达基板处理装置100a的预定时刻(预定到达时刻t10)比临时批次到达基板处理装置100b、100c的预定时刻(预定到达时刻t20、t30)早。

在时序图90a～90c中，基板处理装置100a的临时排程最早开始。因此，主计算机3基于从基板处理装置100a～100c供给的临时排程，例如选择基板处理装置100a作为临时批次的搬运目的地的基板处理装置100。

在时序图90a～90c中，基板处理装置100a的临时排程最早结束。因此，主计算机3基于从基板处理装置100a～100c供给的临时排程，例如选择基板处理装置100a作为临时批次的搬运目的地的基板处理装置100。

图7是用于说明当对不同排程状态的基板处理装置100(100a、100b、100c)赋予优先级不同的临时批次的情况下，怎样进行临时排程的时序图。图7的时序图91a～91c中示出了进行两个处理中批次的处理并且存在两个预约批次的状态下所制作的临时批次的临时排程。

在时序图91a中，以基板处理装置100a为对象设定临时批次的临时排程。在时序图91a中，一个预约批次的处理的优先级为“中”，另一预约批次的处理的优先级为“低”，临时批次的优先级也为“低”。因此，临时排程被制作成在两个预约批次之后开始。因此，临时批次的基板处理的预定开始时刻设定为t41，预定结束时刻设定为t42。

在时序图91b中，以基板处理装置100b为对象设定临时批次的临时排程。在时序图91b中，一个预约批次的处理的优先级为“中”，另一预约批次的处理的优先级为“低”，临时批次的优先级为“中”。而且，临时排程被设定成在两个预约批次之间进行处理。因此，临时批次的基板处理的预定开始时刻设定为t51，预定结束时刻设定为t52。

在时序图91c中，一个预约批次的处理的优先级为“中”，另一预约批次的处理的优先级为“低”，临时批次的优先级为“高”。因此，临时排程被设定成在两个处理中批次之前进行临时批次的基板处理。因此，临时批次的基板处理的预定开始时刻设定为t61，预定结束时刻设定为t62。

在时序图91a～91c中，基板处理装置100c的临时排程最早开始。因此，主计算机3基于从基板处理装置100a～100c供给的临时排程，例如选择基板处理装置100c作为临时批次的搬运目的地的基板处理装置100。

或者，也能够选择临时批次的预定结束时刻最早的基板处理装置100。图7的例子中，基板处理装置100c中的临时批次的预定结束时刻t62比其他基板处理装置100a、100b中的临时批次的预定结束时刻t42、t52早。因此，主计算机3基于从基板处理装置100a～100c供给的临时排程，例如选择基板处理装置100c作为临时批次的搬运目的地的基板处理装置100。

或者，也能够以在基板处理装置100内部的待机时间的长短为基准来选择临时批次的搬运目的地。例如，在时序图91a～91c中，基板处理装置100c中的待机时间(t60～t61)比其他基板处理装置100a、100b中的待机时间短。因此，主计算机3基于从基板处理装置100a～100c供给的临时排程，例如选择基板处理装置100c作为临时批次的搬运目的地的基板处理装置100。

根据如上所述地构成的本实施方式的基板处理系统，主计算机3基于从排程部15发送的临时排程来判断是否将临时批次(“未到达批次”)搬运至基板处理装置100，在决定了将临时批次搬运至基板处理装置100的情况下，对排程部15提供表示将临时批次搬运至基板处理装置100的信号，排程部15若从主计算机3接收到信号，则在临时批次到达基板处理装置100前，执行将临时批次的临时排程作为与其他批次的排程排他性的排程而在排程部15中进行预约的预约处理。因此，能够将用于执行临时批次的基板处理的排程制作成不与之后制作的其他批次的排程发生冲突。

另外，根据本实施方式的基板处理系统，排程部15可将临时批次的临时排程作为与其他批次的排程为排他性、且在制作其他批次的排程时无法变更的排程而进行预约。

另外，根据本实施方式的基板处理系统，排程部15可将临时批次的临时排程作为与其他批次的排程为排他性、且在制作其他批次的排程时能够变更的排程而进行预约。

另外，根据本实施方式的基板处理系统，基板处理装置100的排程部15可使用进行了预约处理的临时批次的排程来实际制作其他批次的排程。

另外，根据本实施方式的基板处理系统，排程部15可基于已到达的批次的排程、临时批次的配方以及由主计算机3提供的临时批次的预定到达时刻，将临时批次的基板处理装置100中的排程制作成临时排程。因此，可制作可靠性高的临时排程。

另外，根据本实施方式的基板处理系统，由于临时批次的预定到达时刻是根据基板处理装置100的处理状况而设定的，因此能够制作可靠性更高的临时排程。

另外，根据本实施方式的基板处理系统，排程部15以将附带优先级的其他批次与临时批次按照与各自的处理的优先级对应的顺序进行处理的方式再次制作附带优先级的其他批次的排程，并且将临时批次的基板处理装置100中的排程制作成临时排程。因此，能够制作反映出处理的优先级的临时排程。

另外，根据本实施方式的基板处理系统，排程部15能够以比尚未开始处理的已制作排程的其他批次更早地进行临时批次的处理的方式再次制作已制作排程的其他批次的排程，并且将临时批次的基板处理装置100中的排程制作成临时排程。

另外，根据本实施方式的基板处理系统，已制作排程的其他批次包括已到达且未开始处理的非处理中批次。因此，能够更高的自由度地进行批次间的处理顺序的变更。

另外，根据本实施方式的基板处理系统，具备多个基板处理装置100，且主计算机3基于从多个基板处理装置100的每一个接收到的临时批次的临时排程，将多个基板处理装置100中的一个基板处理装置100作为搬运临时批次的基板处理装置100进行选择。因此，能够从多个基板处理装置100中选择出最适于临时批次的处理的装置，因此作为基板处理系统整体的处理量(throughput)提升。

另外，根据如上所述地构成的本实施方式的基板处理装置，在信号接收部19从主计算机3接收到表示将临时批次搬运至该基板处理装置的信号的情况下，预约处理部20在临时批次到达该基板处理装置前，执行将临时批次的排程作为与其他批次的排程为排他性的排程而在排程部15中进行预约的预约处理。因此，可将用于执行临时批次的基板处理的排程制作成不与之后制作的其他批次的排程发生冲突。

对本发明进行了详细表示与记述，但所述记述在全部方式中为例示，并非是限定性的。因此，本发明能够在所述发明的范围内对实施方式进行适当变形、省略。

符号说明

300基板处理系统

100基板处理装置

100a～100f基板处理装置

10基板处理装置群

1基板处理单元(处理部)

130控制部

3主计算机

4搬运系统

5仓储系统

6oht

11cpu

15排程部

9基板

c：载体。