技术特征：
技术总结
本发明的目的在于以不与之后制作的其他批次的排程发生冲突的方式制作未到达批次的排程。为了实现该目的，排程部基于已到达批次的排程和未到达批次的配方制作临时排程作为未到达批次的排程，并发送至主计算机，主计算机基于所述临时排程来判断是否将未到达批次搬运至基板处理装置，在决定了将未到达批次搬运至基板处理装置的情况下，对排程部提供表示将未到达批次搬运至基板处理装置的信号，排程部若接收到所述信号，则在未到达批次到达基板处理装置前，执行将未到达批次的临时排程作为与其他批次的排程排他的排程而在排程部中进行预约的预约处理。
技术研发人员：柴田英树;木村隆一
受保护的技术使用者：株式会社斯库林集团
技术研发日：2017.12.26
技术公布日：2019.10.18