技术编号:18924183
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及测量薄膜断裂韧性技术领域,特别涉及一种薄膜拉伸应变的测试器。背景技术对于薄膜材料,由于厚度一般在微米或亚微米量级,采用通常的压、拉、弯等方法对其力学性能进行测试的难度很大。目前比较成熟的方法就是采用纳米压痕技术对附着在基底表面薄膜进行压入,测试其硬度、弹性模量等参数,但基底材料的影响往往难以避免。因此,薄膜研究领域近年来尝试实现自由薄膜(与基底脱离)的拉伸测试,进而对断裂韧性等参量进行有效表征。拉伸法是对无基底材料约束自由薄膜的力学性能进行有效测试的最直接方法,但微小薄膜样品的夹持...
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