技术编号:1899492
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供能够得到在较宽的波长区域显示更低的光吸收特性、且低电阻的氧化物透明导电膜的复合氧化物烧结体、及氧化物透明导电膜。本发明提供复合氧化物烧结体,其特征在于,为具有铟、锆、铪及氧的复合氧化物烧结体,在将铟、锆及铪的含量分别设为In、Zr、Hf时,构成该烧结体的元素的原子比为Zr/(In+Zr+Hf)=0.05~4.5at%,Hf/(In+Zr+Hf)=0.0002~0.15at%。专利说明复合氧化物烧结体及氧化物透明导电膜 [0001] 本发明涉...
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