技术编号:19028714
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及半导体制造技术领域,尤其涉及一种用于安装静电吸盘的安装工具。背景技术随着半导体制造工艺的发展,等离子体处理工艺被广泛应用于半导体元器件的制程中,上述制程,如沉积、刻蚀工艺等一般是在等离子体处理装置内进行。静电吸盘(Electrostatic chuck,简称ESC)是一种适用于大气或真空环境的超洁净薄片承载体、抓取搬运设备的总称,其所使用的静电吸附技术是一种替代传统机械夹持、真空吸附方式的优势技术,在半导体、面板显示、光学等领域中有着广泛应用。现有一种ESC包括上电极(up gro...
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