技术编号:19043793
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及化学气相沉积镀膜设备技术领域,特别是一种热丝可切换的纳米金刚石涂层设备。背景技术化学气相沉积镀膜设备是通过反应的方式,利用加热、等离子激励或光辐射等各种能源,在镀膜设备内使气态或蒸汽状态的化学物质在固界面上经反应形成一层膜。目前,现有的化学气相沉积镀膜设备在模具内孔上制备纳米金刚石涂层过程中,涂层设备的热丝纵截面形状是固定的,而不同批次的模具内孔的纵截面形状是不同的,有圆形、扇形、正方形等,若热丝的纵截面形状与模具内孔的纵截面形状不相同,则容易造成模具内孔的纳米涂层厚度不一样,金刚...
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