技术编号:1907621
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种,该锆钛酸钡钙的化学通式为Ba(Ti0.8Zr0.2)O3-0.5(Ba0.7Ca0.3)TiO3。应用溶胶凝胶法旋涂制备锆钛酸钡钙湿膜,经热处理后得到锆钛酸钡钙无铅压电薄膜。该方法简单可靠,工艺重复性好,可操作性强。本发明制备的锆钛酸钡钙无铅压电薄膜致密均匀,具备优异的介电性能(相对介电常数可达1500),可广泛应用于航空、信息、传感器等领域。专利说明 [0001] 本发明涉及无铅压电薄膜的制备方法,具体是一种锆钛酸钡钙无铅压电薄膜...
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