一种用于Al2O3陶瓷基片推板炉的烟气处理装置的制作方法技术资料下载

技术编号:19083917

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本实用新型属于DBC半导体热电基片生产技术领域,具体涉及一种用于Al2O3陶瓷基片推板炉的烟气处理装置。背景技术随着功率电子器件的发展,电路板集成度与工作频率不断提高,散热问题已成为功率电子器件发展中必须要解决的关键问题。陶瓷基片是大功率电子器件、集成电路基片的封装材料,是功率电子、电子封装与多芯片模块等技术中的关键配套材料,其性能决定着模块的散热效率和可靠性。DBC半导体热电基片是用DBC技术将铜片直接烧结到Al2O3或AlN陶瓷表面制成的一种复合覆铜陶瓷板,具有高导热性、高的电绝缘性、电流容...
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