一种用于Al2O3陶瓷基片推板炉的烟气处理装置的制作方法

本实用新型属于DBC半导体热电基片生产技术领域，具体涉及一种用于Al2O3陶瓷基片推板炉的烟气处理装置。

背景技术：

随着功率电子器件的发展，电路板集成度与工作频率不断提高，散热问题已成为功率电子器件发展中必须要解决的关键问题。陶瓷基片是大功率电子器件、集成电路基片的封装材料，是功率电子、电子封装与多芯片模块等技术中的关键配套材料，其性能决定着模块的散热效率和可靠性。

DBC半导体热电基片是用DBC技术将铜片直接烧结到Al2O3或AlN陶瓷表面制成的一种复合覆铜陶瓷板，具有高导热性、高的电绝缘性、电流容量大、机械强度高、与硅芯片相匹配的温度特性等特点。Al2O3陶瓷片制作过程时，需要将陶瓷片基体冲压成单个陶瓷片坯片，并且将陶瓷片坯片两面的杂质去除掉，然后将陶瓷片坯体放置于推板炉中烧制，现有的推板炉烧制时产生的烟气都未经处理直接排放于大气中，该烟气中含有有机物对大气造成很大的污染。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种处理效率高和节省能耗的陶瓷片推板炉用烟气处理装置。

本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的：

一种用于Al2O3陶瓷基片推板炉的烟气处理装置，其特征在于：包括烟气收集器、烟气总管、烟气支管、引风机、空冷器、收集箱和烟气焚烧炉，多个烟气收集器通过烟气支管与烟气总管相连，所述引风机、空冷器和烟气焚烧炉依次通过烟气总管相连；所述空冷器底端设置有废物收集管，所述废物收集管与收集箱相连，所述烟气焚烧炉包括炉体，所述炉体底端设置烟气进口，所述炉体上端设置排烟出口，所述烟气进口处设置有一端伸入炉体腔室的组合烧嘴，所述组合烧嘴顶端出口处设置有点火枪。

优选的，所述组合烧嘴从内向外依次设置烟气套管、燃气套管和压缩空气套管，所述烟气套管、燃气套管和压缩空气套管的顶端均设置有通气孔，所述烟气套管与烟气总管相连，所述燃气套管与燃气进管相连，所述压缩空气套管与压缩空气进管相连。

优选的，所述通气孔向套管圆心倾斜设置，连通压缩空气进管的倾斜角度大于连通燃气进管的倾斜角度。

优选的，所述排烟出口上设置烟气抽离风机。

优选的，所述排烟出口处设置有过滤网。

优选的，所述炉体底端可拆卸的设置有粉尘收集箱。

优选的，所述烟气支管上设置有风门。

优选的，所述空冷器的外壁上设置有多个翅片。

优选的，所述废物收集管与收集箱通过法兰连接。

本技术方案的有益效果如下：

一、本实用新型提供的用于Al2O3陶瓷基片推板炉的烟气处理装置，包括烟气收集器、烟气总管、烟气支管、引风机、空冷器、收集箱和烟气焚烧炉，所述多个烟气收集器通过烟气支管与烟气总管相连，所述引风机、空冷器和烟气焚烧炉依次通过烟气总管相连；所述空冷器底端设置有废物收集管，所述废物收集管与收集箱相连，所述烟气焚烧炉包括炉体，所述炉体底端设置烟气进口，所述炉体上端设置排烟出口，所述烟气进口处设置有一端伸入炉体腔室的组合烧嘴，所述组合烧嘴顶端出口处设置有点火枪，陶瓷片烧制时推板炉产生的烟气在烟气收集器内聚集，烟气在引风机的作用下进入烟气总管，烟气在空冷器中有机物部分冷凝并从空冷器底端进入收集箱内，未完全冷凝下来的有机物从空能器下端进入烟气焚烧炉，在组合烧嘴处进行焚烧避免烟气中的有机物直接排放于空气中，避免了空气污染，组合烧嘴的设置使得能耗减小，该烟气处理装置具有处理效率高和节省能耗的优点。

二、本实用新型提供的用于Al2O3陶瓷基片推板炉的烟气处理装置，组合烧嘴从内向外依次设置烟气套管、燃气套管和压缩空气套管，所述烟气套管、燃气套管和压缩空气套管的顶端均设置有通气孔，所述烟气套管与烟气总管相连，所述燃气套管与燃气进管相连，所述压缩空气套管与压缩空气进管相连，通过合理设置的组合烧嘴降低焚烧所需能耗。

三、本实用新型提供的用于Al2O3陶瓷基片推板炉的烟气处理装置，通气孔向套管圆心倾斜设置，连通压缩空气进管的倾斜角度大于连通燃气进管的倾斜角度，此种设置可使火焰形成一个向中心呈放射状的锥形火网，提高焚烧效率，通过倾斜角度的不同，可使烟气先一步与压缩空气混合后再与火焰接触进行点燃，提高点燃的效率。

四、本实用新型提供的用于Al2O3陶瓷基片推板炉的烟气处理装置，排烟出口上设置烟气抽离风机，此种设置可提高烟气的焚烧效率。

五、本实用新型提供的用于Al2O3陶瓷基片推板炉的烟气处理装置，排烟出口处设置有过滤网，减少粉尘的排放。

六、本实用新型提供的用于Al2O3陶瓷基片推板炉的烟气处理装置，炉体底端可拆卸的设置有粉尘收集箱，方便将炉体的粉尘外排。

七、本实用新型提供的用于Al2O3陶瓷基片推板炉的烟气处理装置，烟气支管上设置有风门，方便调节烟气收集器处的吸力，使得烟气尽可能多的收集在烟气收集器中。

八、本实用新型提供的用于Al2O3陶瓷基片推板炉的烟气处理装置，空冷器的外壁上设置有多个翅片，增大受热面积，加强冷凝效果。

九、本实用新型提供的用于Al2O3陶瓷基片推板炉的烟气处理装置，废物收集管与收集箱通过法兰连接，方便拆卸收集箱，方便去除有机冷凝物。

附图说明

本实用新型的前述和下文具体描述在结合以下附图阅读时变得更清楚，附图中：

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型组合烧嘴的结构示意图；

图中：

1、烟气收集器；2、烟气总管；3、烟气支管；4、引风机；5、空冷器；6、收集箱；7、烟气焚烧炉；8、废物收集管；9、炉体；10、组合烧嘴；11、点火枪；12、烟气套管；13、燃气套管；14、压缩空气套管；15、通气孔；16、燃气进管；17、压缩空气进管；18、烟气抽离风机；19、过滤网；20、风门；21、翅片。

具体实施方式

下面通过几个具体的实施例来进一步说明实现本实用新型目的技术方案，需要说明的是，本实用新型要求保护的技术方案包括但不限于以下实施例。

实施例1

作为本实用新型一种最基本的实施方案，本实施例公开了一种用于Al2O3陶瓷基片推板炉的烟气处理装置，如图1所示，包括烟气收集器1、烟气总管2、烟气支管3、引风机4、空冷器5、收集箱6和烟气焚烧炉7，多个烟气收集器1通过烟气支管3与烟气总管2相连，所述引风机4、空冷器5和烟气焚烧炉7依次通过烟气总管2相连；所述空冷器5底端设置有废物收集管8，所述废物收集管8与收集箱6相连，所述烟气焚烧炉7包括炉体9，所述炉体9底端设置烟气进口，所述炉体9上端设置排烟出口，所述烟气进口处设置有一端伸入炉体9腔室的组合烧嘴10，所述组合烧嘴10顶端出口处设置有点火枪11。

本实用新型提供的用于Al2O3陶瓷基片推板炉的烟气处理装置，包括烟气收集器1、烟气总管2、烟气支管3、引风机4、空冷器5、收集箱6和烟气焚烧炉7，所述多个烟气收集器1通过烟气支管3与烟气总管2相连，所述引风机4、空冷器5和烟气焚烧炉7依次通过烟气总管2相连；所述空冷器5底端设置有废物收集管8，所述废物收集管8与收集箱6相连，所述烟气焚烧炉7包括炉体9，所述炉体9底端设置烟气进口，所述炉体9上端设置排烟出口，所述烟气进口处设置有一端伸入炉体9腔室的组合烧嘴10，所述组合烧嘴10顶端出口处设置有点火枪11，陶瓷片烧制时推板炉产生的烟气在烟气收集器1内聚集，烟气在引风机4的作用下进入烟气总管2，烟气在空冷器5中有机物部分冷凝并从空冷器5底端进入收集箱6内，未完全冷凝下来的有机物从空能器下端进入烟气焚烧炉7，在组合烧嘴10处进行焚烧避免烟气中的有机物直接排放于空气中，避免了空气污染，组合烧嘴10的设置使得能耗减小，该烟气处理装置具有处理效率高和节省能耗的优点。

实施例2

作为本实用新型一种优选的实施方案，本实施例公开了一种用于Al2O3陶瓷基片推板炉的烟气处理装置，如图1所示，包括烟气收集器1、烟气总管2、烟气支管3、引风机4、空冷器5、收集箱6和烟气焚烧炉7，多个烟气收集器1通过烟气支管3与烟气总管2相连，所述引风机4、空冷器5和烟气焚烧炉7依次通过烟气总管2相连；所述空冷器5底端设置有废物收集管8，所述废物收集管8与收集箱6相连，所述烟气焚烧炉7包括炉体9，所述炉体9底端设置烟气进口，所述炉体9上端设置排烟出口，所述烟气进口处设置有一端伸入炉体9腔室的组合烧嘴10，所述组合烧嘴10顶端出口处设置有点火枪11。

如图2所示，优选的，所述组合烧嘴10从内向外依次设置烟气套管12、燃气套管13和压缩空气套管14，所述烟气套管12、燃气套管13和压缩空气套管14的顶端均设置有通气孔15，所述烟气套管12与烟气总管2相连，所述燃气套管13与燃气进管16相连，所述压缩空气套管14与压缩空气进管17相连。

优选的，所述通气孔15向套管圆心倾斜设置，连通压缩空气进管17的倾斜角度大于连通燃气进管16的倾斜角度。

优选的，所述排烟出口上设置烟气抽离风机18。

优选的，所述排烟出口处设置有过滤网19。

优选的，所述炉体9底端可拆卸的设置有粉尘收集箱6。

优选的，所述烟气支管3上设置有风门20。

优选的，所述空冷器5的外壁上设置有多个翅片21。

优选的，所述废物收集管8与收集箱6通过法兰连接。

本实用新型提供的用于Al2O3陶瓷基片推板炉的烟气处理装置，包括烟气收集器1、烟气总管2、烟气支管3、引风机4、空冷器5、收集箱6和烟气焚烧炉7，所述多个烟气收集器1通过烟气支管3与烟气总管2相连，所述引风机4、空冷器5和烟气焚烧炉7依次通过烟气总管2相连；所述空冷器5底端设置有废物收集管8，所述废物收集管8与收集箱6相连，所述烟气焚烧炉7包括炉体9，所述炉体9底端设置烟气进口，所述炉体9上端设置排烟出口，所述烟气进口处设置有一端伸入炉体9腔室的组合烧嘴10，所述组合烧嘴10顶端出口处设置有点火枪11，陶瓷片烧制时推板炉产生的烟气在烟气收集器1内聚集，烟气在引风机4的作用下进入烟气总管2，烟气在空冷器5中有机物部分冷凝并从空冷器5底端进入收集箱6内，未完全冷凝下来的有机物从空能器下端进入烟气焚烧炉7，在组合烧嘴10处进行焚烧避免烟气中的有机物直接排放于空气中，避免了空气污染，组合烧嘴10的设置使得能耗减小，该烟气处理装置具有处理效率高和节省能耗的优点。

组合烧嘴10从内向外依次设置烟气套管12、燃气套管13和压缩空气套管14，所述烟气套管12、燃气套管13和压缩空气套管14的顶端均设置有通气孔15，所述烟气套管12与烟气总管2相连，所述燃气套管13与燃气进管16相连，所述压缩空气套管14与压缩空气进管17相连，通过合理设置的组合烧嘴10降低焚烧所需能耗。通气孔15向套管圆心倾斜设置，连通压缩空气进管17的倾斜角度大于连通燃气进管16的倾斜角度，此种设置可使火焰形成一个向中心呈放射状的锥形火网，提高焚烧效率，通过倾斜角度的不同，可使烟气先一步与压缩空气混合后再与火焰接触进行点燃，提高点燃的效率。排烟出口上设置烟气抽离风机18，此种设置可提高烟气的焚烧效率。排烟出口处设置有过滤网19，减少粉尘的排放。炉体9底端可拆卸的设置有粉尘收集箱6，方便将炉体9的粉尘外排。烟气支管3上设置有风门20，方便调节烟气收集器1处的吸力，使得烟气尽可能多的收集在烟气收集器1中。空冷器5的外壁上设置有多个翅片21，增大受热面积，加强冷凝效果。废物收集管8与收集箱6通过法兰连接，方便拆卸收集箱6，方便去除有机冷凝物。