技术编号：19146560
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及集成电感制作领域，尤其涉及一种叠层电感的制作方法及制得的器件。背景技术现有技术中，大多采用平面结构的集成电感，由于这种集成电感制作于衬底平行的平面上，在高频条件下，衬底中会形成涡旋电流(eddycurrent)，涡旋电流的方向与电感线圈中的电流方向相反，这将导致电感线圈的磁通量减少，额外的能量损失较大并使得整个电感的q值下降。另外现有技术中，集成电感由于集成电路的制程与材料的限制，很难同时达到高电感值和高品质因数q值。现有的技术的电感制备过程为：第一，首先衬底进行电感主体金属的蒸镀(第...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。