技术编号:19155711
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及多晶硅制作技术领域,尤其是涉及一种多晶硅还原炉及多晶硅还原炉的启炉方法。背景技术相关技术中,制备高纯电子级多晶硅的生产企业基本上全部采用传统的内置石英灯的加热方式给硅芯加热,然而,此种方式较为繁琐,需要对还原炉内气体多次置换,在拆装过程中有可能其他杂质落入还原炉内,操作过程中还原炉仍需带电作业存在安全隐患,也不利于电子级多晶硅纯度提高。发明内容本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本发明的一个目的在于提出一种多晶硅还原炉,所述多晶硅还原炉操作简便且安全可靠。本发明的另一...
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